판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris SYM3 #293627020
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centris SYM3은 캐리어에 등록 된 다양한 기판에서 우수한 구조와 패턴을 생산하도록 설계된 고급 에치/애쉬 (etch/ash) 장비입니다. 이 시스템은 경제활동의 유연성과 전기기계 (electro-mechanical system) 의 속도를 활용하는 첨단 고가용성 (HA) 아키텍처를 기반으로 구축되었습니다. 이 장치는 직경이 최대 8 "인 기판 크기를 처리 할 수 있으며 10 개 이상의 가스에 대한 가스 제어 기능을 갖추고 있으며, 심층 실리콘 에칭, 고밀도 플라즈마 에칭, 저항 제거, 차동 스트리핑 등의 다양한 프로세스를 허용합니다. 이 기계는 또한 매우 모듈식 (modular) 으로, 사용자가 복잡한 사용자 정의 구조와 패턴을 생성할 수 있도록 도구를 구성할 수 있습니다. AMAT Centris SYM3는 고가용성 자동 초점 에셋과 함께 고해상도 이미지 전송 (image-transfer) 메커니즘을 제공하여 뛰어난 프로세스 반복성 및 생산성을 제공합니다. 이 모델은 또한 다양한 최첨단 안전 프로토콜 (state-of-the-art safety protocol) 을 제공하여 오염 또는 기타 운영 문제로 인한 장비 장애 위험을 최소화합니다. APPLIED MATERIALS Centris SYM3 (APPLIED MATERIALS Centris SYM3) 에는 흐름 속도와 압력의 균형을 맞춰 프로세스 성능을 극대화하는 닫힌 루프 프로세스 제어 시스템이 장착되어 있습니다. 이 장치는 독점 소프트웨어 패키지를 사용하여 레시피 제어 및 모니터링을 자동화하고, 에칭 프로세스 (etching process) 를 그래픽으로 표시하여 운영자가 프로세스를 이해하고 최적화할 수 있도록 합니다. 이 기술을 통해 현재 프로세스를 중지하고 다시 로드하지 않고 여러 개의 etch/ash 프로세스 레시피를 즉석에서 사용할 수 있으며, 처리량 및 반복성이 향상됩니다. Centris SYM3는 다양한 애플리케이션에 이상적인 강력한 에칭 머신입니다. 이 툴의 개방형 사양 (open specification) 은 높은 수준의 유연성을 제공하여, 에셋이 운영 환경에 가장 적합하도록 구성할 수 있습니다. 고품질 이미징 및 클로즈드 루프 (closed-loop) 프로세스 제어 모델을 사용하면 수익률과 반복성을 향상시킬 수 있으며, 따라서 시간과 노력을 줄여 더 나은 결과를 얻을 수 있습니다.
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