판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA #293779107
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AMAT/APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA는 중요한 반도체 에칭/애싱 프로세스에 사용되는 에처/애셔입니다. 멀티 선박 및 멀티 존 (multi-Zone) 운영을 지원하는, 정확성, 반복 가능성, 보안에 대한 글로벌 요구 사항을 충족하는 자동화 지원 도구입니다. AMAT Centris DPS MESA는 고급 ODS (Ozone Delivery Equipment) 및 DPSA (Dual-Plasma Self-Aligning) 기술을 사용하여 반도체 웨이퍼에서 가장 복잡한 기능을 정확하게 에칭 및 분쇄할 수 있습니다. DPS 메사 (DPS MESA) 는 고급 온도 제어 (Temperature Control) 를 통해 프로세스 전반에 걸쳐 최적의 열 프로파일을 구현하고 있으며, 자동화 및 추적 기능을위한 고유한 옵션을 통해 처리량을 향상시키고 Fab 활용도를 극대화할 수 있습니다. 이 도구의 자동화된 프로세스 제어 시스템 (Automated Process Control System) 을 통해 프로세스를 강력히 모니터링하고 제어할 수 있어, 에치 속도가 빨라지고 프로세스 정확도가 높아집니다. 통합 다이렉트 드라이브 (Direct-Drive) 액체 컨트롤러뿐만 아니라 가스의 신속한 전환을위한 고급 가스 캐비닛 (Advanced Gas Cabinet) 은 일관된 에치 결과와 최소화된 프로세스 드리프트를 제공합니다. 또한 DPSA 기능을 사용하면 고객 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있는 복합 에치/애쉬 (etch/ash) 작업을 수행할 수 있습니다. 이 장치의 높은 진공 기능은 깨끗하고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 통합 고급 대피기 (Advanced Evacuation Machine) 는 에치/애쉬 프로세스 (etch/ash process) 동안 생성 된 대부분의 가스와 매연을 제거하고 강력한 황삭 및 확산 펌프는 프로세스 사이클 시간을 줄입니다. 이 도구는 클러스터 도구 (cluster tool) 에 통합되어 여러 웨이퍼를 동시에 처리할 수 있도록 설계되었으며, 사전 매핑 (pre-mapping) 에셋 (asset) 옵션을 통해 샘플 배치를 최적화하여 처리량을 향상시킵니다. 이 모델의 통합 발전기 (Integrated Generator) 는 장치에 대한 원격 제어를 허용하며, 고급 안전 기능은 작업 중 사용자를 보호합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS Centris DPS MESA는 반도체 패브에 효율적이고 다용도 에칭 및 애싱 솔루션을 제공합니다. 첨단 기술, 최고 수준의 장비 안전 및 자동화, 높은 생산성 (Productivity) 이 업계에서 가장 뛰어나기 때문에 모든 반도체 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.
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