판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS C5200 MXP #9378290

AMAT/APPLIED MATERIALS C5200 MXP Etcher/Asher는 플라즈마 및 가스 기술을 통해 포토 esist를 제어하는 강력한 에칭 및 애싱 장비입니다. 정밀하고 직관적인 처리 레시피 인터페이스 (processing recipe interface) 와 고급 화학 물질 (advanced chemistry) 을 통해 더 빠르고 높은 처리량과 향상된 생산 효율성을 제공합니다. AMAT C5200 MXP는 높은 신뢰성, 최적의 성능 및 낮은 유지 관리 비용을 제공하도록 설계되었습니다. APPLIED MATERIALS C5200 MXP는 에칭 및 애싱을위한 습식 및 건식 화학을 모두 제공하는 다중 공정 에처/애셔입니다. 저전류 플라즈마 에칭 (etching) 이 가능하며, 단일 플라즈마 소스를 에칭 및 클리닝 모두에 사용할 수 있습니다. etcher/asher는 또한 동시 애싱/에칭 프로세스를위한 최첨단, 저렴한 나란히 프로세스 기능을 제공합니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface and Control System) 를 통해 장치의 에칭, 애싱 및 클리닝 프로세스를 완벽하게 통합할 수 있습니다. 이 기계는 향상된 장치 성능과 안정성을 갖춘 오늘날의 고급 반도체 (Advanced Semiconductor) 장치의 고유한 요구를 지원합니다. C5200 MXP는 또한 밀봉 처리 챔버 (sealed processing chamber) 와 같은 몇 가지 혁신적인 먼지 방지 기능을 갖추고 있으며, 처리 중에 먼지 입자가 에찬트/애쉬 용액에 들어가지 않도록 보장합니다. 또한, 효과적인 재순환 필터는 처리 중 먼지 입자가 공정 챔버 (process chamber) 에 들어가는 것을 방지하여 더 안정적이고 효율적입니다. 이러한 모든 설계 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS C5200 MXP는 낮은 유지 관리 비용으로 최적의 성능을 구현할 수 있습니다. 이 도구는 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스 동안 제거된 재료의 양을 측정하는 고급 도량형 기능을 제공합니다. 컬러 이미징 (Colorimetric Imaging), 모션 컨트롤 (Motion Control) 등 다양한 기능을 갖춘 고해상도 카메라가 특징입니다. 또한 AMAT C5200 MXP에는 처리 중 전류, 전압, 압력을 측정하는 고정밀 하드웨어 모니터가 장착되어 있습니다. 이러한 강력한 도량형 툴을 사용하면 프로세스 엔지니어가 최적의 성능을 보장할 수 있도록, 프로세스 모니터링 및 제어를 정확하게 수행할 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS C5200 MXP Etcher/Asher는 정확한 에칭 및 애싱 프로세스를 제공하는 강력한 에칭 및 애싱 자산입니다. 높은 신뢰성, 최적의 성능 및 낮은 유지 관리 비용을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스, 고급 도량형 (Advanced Metrology) 기능 및 먼지 방지 (Dust-Prevention) 기능을 제공하여 오늘날의 고급 반도체 장치에 이상적인 옵션을 제공합니다.