판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS AME 8100 #9178965

AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100은 기판 표면에서 재료를 안정적이고 정확하게 제거하도록 설계된 Asher/Etcher입니다. 이 장비는 에칭 과정에서 브로민화 수소, 염화 수소, SF6 등 다양한 에칭 가스를 사용합니다. 에칭 프로세스의 임계 온도, 압력 및 가스 구성 제어를 위해 최첨단 Endura 하드웨어 및 소프트웨어를 통합합니다. 이 시스템은 최대 8 인치 직경의 웨이퍼 기질에서 실리콘, 갈륨 비소, 산화 실리콘과 같은 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. AMAT AME 8100은 프로세스 매개변수를 정확하게 제어하여 원하는 에치 속도와 균일성을 제공합니다. 실시간 프로세스 모니터링을 사용하여이 장치는 반복 가능한 온도 조절 (repeatable temperature control) 을 유지하고 기판을 에칭 가스에 균일하게 노출시킵니다. 제어 가능한 확산 및 원격 에치 (etch) 구성을 통해 장치 형상의 완벽한 범위를 보장합니다. 공정 제어 외에도, 이 기계는 유연한 기판 로딩 옵션과 혁신적인 단면/양면 etchbatch 로딩 기능을 제공합니다. APPLIED MATERIALS AME 8100은 높은 처리량과 낮은 입자 생성을 통해 뛰어난 프로세스 균일성을 제공합니다. 특수 에치 (etch) 요구 사항을 위해 이 도구는 정밀 마스크 코딩 기능과 다양한 특수 에치 프로세스 가스를 제공합니다. 이 자산은 또한 프로세스 실행 로깅, 프로세스 추적 가능성, 에치 프로세스 최적화를 위한 자동 레시피 관리 (Automated Recipe Management) 와 같은 추가 기능을 통합합니다. 결론적으로, AME 8100은 다양한 재료를 처리하도록 설계된 안정적이고 정확한 etcher/asher입니다. 고급 온도, 압력 및 가스 구성 제어, 실시간 프로세스 모니터링, 특수 프로세스 가스, 프로세스 실행 로깅, 추적 기능 등의 추가 기능을 갖추고 있습니다. 뛰어난 프로세스 균일성과 낮은 입자 생성을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS AME 8100은 모든 에칭 요구를 충족시킵니다.