판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8336 #9250132
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 etcher/asher는 다양한 에칭, 클리닝 및 애싱 프로세스를 위해 설계된 다목적 장비입니다. 이 시스템은 최신 RF 플라즈마 (RF Plasma) 기술을 활용하며, 가장 높은 수준의 균일성과 반복성을 제공하여 프로세스 제어와 빠른 주기 (Cycle Time) 를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 이 장치는 RF 발전기, Asher Head/Tower, Chamber/Process Vessel, Process Gases 및 Vacuum Equipment를 포함한 여러 구성 요소로 구성됩니다. AMAT 8336의 고급 RF 생성기 (advanced RF Generator) 는 애셔 헤드 (Asher Head) 에 전력을 공급하여 에칭 및 청소 프로세스에 필요한 플라스마를 효율적으로 생성합니다. 챔버/선박은 웨이퍼 기판을 보유하고 있으며 Asher Head 및 Process Gases를 오염으로부터 보호합니다. 사용자가 제어하는 프로세스 가스 (Process Gase) 는 애셔 헤드 (Asher Head) 가 제어하는 노즐을 통해 채널링되어 기판의 해당 영역을 코팅합니다. APPLIED MATERIALS 8336's Vacuum Equipment (응용 자료 8336) 는 기판실의 모든 구성 요소를 포함하고 진공 환경을 유지하여 빠른 주기 시간에 기여합니다. 8336은 실리콘, 폴리 실리콘, 유리, 저k 유전체, 금속, 저항, 산화물 및 질화물을 포함하여 다양한 재료를 에치하고 청소하여 정밀 처리를 허용할 수 있습니다. 독점적 인 Cross-Ladder Technology는 매우 단단한 에치 균일성으로 더 높은 처리량을 지원합니다. 또한, 최대 100:1 (최대 100:1) 까지 높은 종횡비 에칭을 달성하여 고급 프로세스 응용 프로그램에 이상적입니다. 이 기계는 또한 현장 가스 분석기, 엔드 포인트 감지 (endpoint detection), 웨이퍼 매핑 (wafer mapping) 등 다양한 프로세스 모니터링 기능을 제공하여 사용자에게 에칭/애싱 프로세스를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 또한 지능적으로 제어되는 툴을 사용하면 인건비를 최소화하고, 생산 과정에서 병목 현상을 줄일 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8336 etcher/asher는 신뢰할 수 있고 다양한 자산으로, 높은 처리량으로 정확하고 반복 가능한 에칭 및 청소 결과를 얻을 수 있습니다. 탁월한 프로세스 제어, 고급 기술, 모니터링 (monitor) 기능을 통해 시간과 비용을 절감하면서 사용자가 최상의 품질의 결과를 얻을 수 있습니다.
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