판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330A / 8330 #9276839

AMAT (응용 재료) AMAT/APPLIED MATERIALS 8330A/8330은 제조 작업에 사용되는 에처/애셔입니다. 이 제품은 비용 효율적이고 처리량이 높은 장비로, 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스와 관련하여 탁월한 성능을 제공합니다. 이 시스템은 여러 개의 애플리케이션을 동시에 처리할 수 있도록 설계되었으며, 하나의 작업으로 최대 8 개의 웨이퍼 (wafer) 용량을 사용할 수 있습니다. 기계에는 모든 에치 (etch) 및 애싱 (ashing) 프로세스 작업에 대한 정확한 온도 및 프로세스 제어가 가능한 고급 진공 장치가 장착되어 있습니다. 에칭 머신으로서 AMAT 8330A/8330에는 2 개의 주요 챔버가 있습니다. 하나는 금속 용이고 다른 하나는 단열 에칭용입니다. 금속 에치 챔버는 RIE (reactive ion etching) 기능을 사용하여 우수한 이방성 에칭 결과를 제공합니다. 또한, 내장 자동 온도 컨트롤러로 인해 챔버 압력, 온도, 가스 흐름 및 RF 전력의 정밀 제어가 가능합니다. 절연 에칭 챔버는 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스로 구성되며, 이는 열 안정화 된 기질의 에칭을 가능하게한다. 자동 열 컨트롤러는 모든 에칭 작업에 대해 정확한 온도 및 프로세스 제어를 제공합니다. 또한, 이 도구에는 고급 클래스 1000 웨이퍼 처리 자산이 장착되어 있어, 빠른 웨이퍼 로딩, 언로드 및 조작, 시간 절약형 웨이퍼 정렬 기능을 제공합니다. 애싱 기능 측면에서 APPLIED MATERIALS 8330A/8330 모델은 단일 챔버 구성을 통해 빠르고 효율적인 애싱 프로세스를 지원합니다. 챔버에는 쿼츠 보트 (Quartz Boat) 와 내장 자동 온도 컨트롤러 (Automated Temperature Controller) 가 장착되어 있어 재싱 공정에 대한 정확한 온도 제어를 제공합니다. 이것은 프로세스 균일성, 반복성 및 수익률 향상에 기여합니다. 이 장비에는 또한 프로세스 오류 진단 (process failure diagnostics) 이 포함되어 있어 모든 오작동을 신속하게 해결할 수 있습니다. 전체적으로 8330A/8330은 강력하고 처리량이 많은 에칭 및 애싱 시스템입니다. 이 장치는 고급 (advanced) 기능을 통해 모든 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 절차에서 최상의 결과를 얻을 수 있도록 정확한 온도 및 프로세스 제어를 제공합니다. 이 제품은 다양한 업종의 고급 애싱 (ashing) 및 에칭 (etching) 애플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.