판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9365711

AMAT/APPLIED MATERIALS 8330은 가장 어려운 에칭 및 애싱 요구 사항을 위해 특별히 설계된 고급 에처 및 애셔입니다. 반응성 이온을 사용하여 실리콘 웨이퍼, MEMS, 이미징, 디스플레이와 같은 기판에서 정확한 에칭 및 애싱을 달성합니다. AMAT 8330에는 독점 PSO (process set-point optimization) 기능이 있어 프로파일 균일성, 반복 가능성, 재생성 가능성, 에지 곡률, 재생성 등과 같은 에칭 프로세스 매개변수를 더 잘 제어할 수 있습니다. 식각 과정에서 균일성과 안정성을 보장하기 위해 APPLIED MATERIALS 8330에는 일련의 자동 온도 조절 메커니즘이 장착되어 있습니다. 프로세스 요구 사항에 따라 8330 의 처리량은 시간당 최대 200 개입니다. 또한 비 반응성 챔버 (non-reactive chamber) 가 장착되어 있어, 높은 정밀도, 고밀도 및 높은 선택성 에칭 공정에 뛰어난 성능을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330은 또한 프로세스 조건을 극대화하고 처리량을 향상시키는 데 도움이 되는 고급 레시피가 내장된 사용자 친화적 GUI (Graphic User Interface) 를 제공합니다. AMAT 8330은 또한 폴리미드 (polyimides) 와 같은 얇은 층을 포함하여 두께가 다른 기판을 처리 할 수 있습니다. 또한 동일한 레이어 스택으로 기판을 처리 할 때에도 일관된 결과를 보장하기 위해 개선 된 O2 프리 (O2-free) 처리를 위해 질소 퍼지 장비를 갖추고 있습니다. APPLIED MATERIALS 8330은 완벽한 자동 웨이퍼 처리 시스템뿐만 아니라 최대 8 "직경의 기판에 대한 빠른 잠금 척 (quick-lock chuck) 기술을 제공합니다. 또한 프로세스 제어를 강화하기 위해 Wafer (Wafer) 정렬 및 모니터링을 자동화할 수 있는 통합형 Vision 유닛이 있습니다. 엔진은 효율적인 냉각 및 에칭을 위해 고압 통합을 처리 할 수 있습니다. 또한 다단계 프로세스에서 프로세스 최적화를 개선하기 위해 챔버 레시피에 적응합니다. 8330 etcher and asher는 고급 에칭 및 재싱을위한 효과적이고 신뢰할 수있는 도구입니다. 정교한 설계는 정확하고 반복 가능하며 재현 가능한 처리 결과를 제공합니다. 또한, 대형 처리량 및 통합 비전 머신 (Integrated Vision Machine) 은 여러 레이어 스택으로 실리콘 웨이퍼 및 기판의 효율성을 극대화하는 최적의 방법을 제공합니다.