판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9210300

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9210300
웨이퍼 크기: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330은 고정밀 에처/애셔입니다. 재질의 표면에 패턴을 정확하게 가져올 수 있습니다. 에칭 (Etching) 은 얕은 재료 레이어가 제거되고, 그 아래 레이어에 원하는 패턴이 남는 빼기 프로세스입니다. AMAT 8330은 플라즈마 에칭을 사용하여 지정된 패턴으로 재료를 제거합니다. APPLIED MATERIALS 8330에 사용되는 플라즈마 에칭 기술은 기판을 최대 6 "x6" 또는 150 mm까지 처리 할 수 있으므로 작은 부품의 정확한 에칭이 필요한 응용 프로그램에 적합합니다. 에처는 또한 한 번에 여러 기질을 처리 할 수 있으며 실리콘, 갈륨 비소 (GaAs) 및 인화 인듐 (InP) 과 같은 재료를 에치하는 데 사용될 수있다. 에칭은 습식 (wet) 또는 건식 (dry) 기술을 사용하여 수행 할 수 있으며 다양한 모양과 크기가 특징입니다. 8330은 또한 스퍼터 에칭, 얕은 트렌치 격리 (STI), 배리어 사이드 월 임플란테이션과 같은 고급 프로세스 기술을 수행 할 수 있습니다. 이러한 기술은 에칭되는 재료에 일관되고 균일 한 프로파일이 있는지 확인하는 데 도움이됩니다. 또한, 에처는 몇 미크론에서 수 밀리 초까지 광범위한 에치 레이트를 특징으로합니다. 또한 산소, 수소, 헬륨, 질소 및 이산화탄소, 기타 비활성 가스 등 다양한 공정 기체가 있습니다. 이 장비는 또한 도구 가용성 측면에서 매우 효율적입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 (AMAT/APPLIED MATERIALS 8330) 은 단일 실행에서 여러 레시피를 처리하도록 설계되었으며, 변화하는 프로세스 요구 사항을 충족하도록 쉽게 수정할 수 있습니다. 또한, 자동화된 인터페이스를 통해 시스템을 생산 환경에 쉽게 통합할 수 있으며, 다양한 압력, 온도, 전압, 가스 흐름 수준 (flow level) 을 통해 여러 애플리케이션에 맞게 조정할 수 있습니다. 마지막으로, AMAT 8330은 에칭 (etching) 과정의 우발적 활성화를 방지하는 중복 안전 연동 장치 (safety interlock unit) 를 갖추고 있으므로 안전을 고려합니다. 이 기계에는 프로그래밍 가능한 타이머, 가스 (gas) 및 진공 센서 (vacuum sensor) 및 프로세스가 시작되기 전에 잠글 수있는 연동 스위치가 포함됩니다. 이렇게 하면, 시스템이 사용 중인 동안 추가 보안 계층을 사용할 수 있습니다. 결론적으로 APPLIED MATERIALS 8330 에칭/애셔 머신 (etching/asher machine) 은 다양한 표면 재료에 패턴과 모양을 에칭 및 재싱하기위한 고정밀 도구입니다. 첨단 프로세스 기술, 다중 프로세스 가스 옵션 (Multiple Process Gas Options), 안전 측정 (Safety Measures) 을 통해 다양한 애플리케이션에 적합한 솔루션을 선택할 수 있습니다.
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