판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9184414
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ID: 9184414
웨이퍼 크기: 6"
Metal etchers, 6"
Spare parts included
Includes:
Cryo compressors
Bell jars
PM Kits
Chamber parts
Robot parts
RF Generators
RF Matches.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 etcher/asher는 실리콘, 금속, 폴리머 및 유리와 같은 재를 에치하고 재로 만드는 데 사용되는 포괄적이고 비용 효율적인 도구입니다. 이 장비는 반도체, MEMS, 의료, 광전자 및 자동차 산업에서 웨이퍼를 효율적이고 정확하게 에칭 또는 재싱하도록 설계되었습니다. AMAT 8330 etcher/asher는 실리콘, 이산화규소, 금속, 금속 산화물, 에치 스톱 재료, 수동화 산화물 및 솔더 마스크를 포함한 다양한 기질의 고성능 에칭, 청소 및 재싱을 제공합니다. 포토레스 (photoresist) 재료와 호환되며, 기판 재료의 손상 또는 변색 없이 날카로운 수직 프로파일로 넓은 종횡비 패턴을 가져올 수 있도록 설계되었습니다. 이 시스템은 RIE (Reactive-ion Etching), RF (Radio Frequency) Etching 및 USJ (Ultra Shallow Junction) 에칭을위한 멀티 스텝 Etching과 같은 고급 프로세스를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 8330 etcher/asher는 독립적 인 공정 가스 흐름 제어를 갖춘 큰 공정 챔버 (process chamber) 로 인해 전체 웨이퍼 전체에서 높은 반복성과 우수한 균일성을 제공 할 수 있습니다. 또한 내부 냉각기 (cooling machine) 를 장착하여 웨이퍼 열 손상을 줄이고 여러 층의 재료를 균일하게 에칭합니다. 이 도구는 결함으로 에칭되는 물질을 검사하기 위한 통합된 비전 (vision) 에셋을 갖추고 있다. 8330 에처/애셔 (etcher/asher) 는 처리량이 높고 품질이 뛰어난 결과를 얻을 수 있도록 설계되었으며, 최대 5 개의 웨이퍼를 동시에 자동 처리할 수 있습니다. 이 모델의 고급 소프트웨어 (advanced software) 를 사용하면 최적의 에치 속도, 반복 가능성, 품질 제어를 위한 프로세스 매개변수를 사용자정의할 수 있습니다. 이 장비는 유지 보수가 쉽고 운영 비용이 적도록 설계되었습니다. 전반적으로 AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 etcher/asher는 반도체, MEMS, 의료, 광전자 및 자동차 산업의 재료에 대한 다양한 에칭 및 애싱 기술을 제공하는 비용 효율적인 정밀 도구입니다. 넓은 종횡비 패턴, 열 냉각 시스템, 높은 처리량, 자동 유지보수 등의 고급 기능을 갖춘 이 장치는 비용 효율적인 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 솔루션을 원하는 모든 사용자에게 적합한 제품입니다.
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