판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #9144771

AMAT / APPLIED MATERIALS 8330
ID: 9144771
웨이퍼 크기: 6"
Metal etcher, 6".
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etcher/Asher는 반도체 및 MEMS 산업에서 재료를 에치 및 처리하기 위해 사용되는 정교한 사용자 친화적 인 도구입니다. 정밀 프로세스를 만들기 위해 정확한 패턴을 제공하는 안정적이고 정밀한 OBDS (optical beam delivery system) 로 제작되었습니다. 이 시스템은 완전히 자동화되었으며, 사용자의 개입 (Intervention) 을 최소화하여 효율이 높은 프로세스와 정확한 프로세스 반복성을 제공합니다. AMAT 8330은 반도체 제조 요구 사항을 중심으로 설계된 하드웨어 설계로, 편리한 액세스를 위한 모듈식 (modular) 구성요소를 갖추고 있습니다. 이렇게 하면 공장 바닥 으로 쉽게 통합 할 수 있으며, 오염 을 최소화 하기 위해 "클린룸 '에 들어갈 수 있다. 작업 환경에서 기판을 들어 올리는 세라믹 리프팅 단계 (Ceramic Lifting Stage), 조절 가능한 기울기 및 회전, 쉽게 교체 할 수있는 이동식 척 (Removable Chuck) 이 특징입니다. APPLIED MATERIALS 8330은 최첨단 모션 제어 기능을 제공하여 소재 사용량과 부어 비용을 절감합니다. 이 플랫폼은 또한 속도, 가속, 감속에 대한 정밀 제어 및 높은 샘플 처리율을 가지고 있습니다. 고정밀도 프로세스를 사용하기 위해 etcher 는 고급 Metrology 기능과 프로세스 매개변수의 실시간 Optical Feedback 을 사용합니다. 8330 에처에는 몇 가지 독특한 기능이 있습니다. 초박막 산화 과정은 매우 얇은 층의 통제 된 산화를 제공합니다. 서브 아이콘 스트라이프 및 패턴화는 정확하고 반복 가능한 병렬 처리를 가능하게합니다. 다른 기판을 손상없이 처리하는 능력은 다재다능합니다. 또한, 이 장치는 다양한 재료를 에칭 및 처리하기위한 다양한 레시피를 제공하며, 에칭 성능을 최적화하는 통합 소프트웨어 (Integrated Software) 제품군도 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 (AMAT/APPLIED MATERIALS 8330) 은 견고하고 신뢰할 수 있는 에치 및 애셔로, 오늘날 시장의 처리 재료에 대해 정확하고 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 최고의 유연성, 안정성, 반복성을 제공하며, 공장 환경과 어플리케이션에 쉽게 통합할 수 있도록 설계되었습니다.
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