판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8330 #199197
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ID: 199197
Metal etcher, 6"
EASE package but buffer wafer stations
Software Version- R.0.2
TMP450 turbo
Cryo compressor not included
Generator not included
Currently installed.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asher는 폴리이마이드 또는 하드 마스크 레이어와 같은 유전체 층에서 재료를 제거하여 안정적이고, 매우 정확하며, 종종 구조를 복잡하게 만드는 데 사용되는 특수 장비 도구입니다. AMAT 8330 (AMAT 8330) 은 가장 까다로운 에치 처리 요구 사항을 충족하는 업계 최고의 에치 균일성, 신뢰성, 정밀도를 제공합니다. 응용 재료 8330 (APPLIED MATERIALS 8330) 은 이중 파동 에너지를 사용하여 에치 프로세스 과정을 통해 에치 레이트를 균일하게 유지합니다. 이것은 1 차원 에치 프로세스와 달리 2 차원 에치로 상단 표면을 에칭하는 데 적합합니다. 이 도구는 또한 자동화된 종점 탐지 (end-point detection) 기능을 제공하여 프로세스가 완료되면 정확하게 감지합니다. 이를 통해 최소 연산자 개입으로 짧고 재생성 가능한 에치 시간이 가능합니다. 8330은 뛰어난 정확성과 정확도를 제공하는 고급 14 챔버 디자인을 갖추고 있습니다. 이 도구는 저압 고밀도 플라즈마 (Plasma) 기술을 사용하여 과잉 에칭 (over-etching) 이나 접지 (under-etching) 없이 프로세스 매개변수를 정확하게 설정하고 일관되게 유지할 수 있습니다. 또 다른 유익 은 "플라즈마 '기술 이 최소한의 유지 보수 를 요하여 기계 의 수명 을 연장 시킨다는 것 이다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8330 Etch/Asher는 염소, 아르곤 및 NF3과 같은 다양한 가스와 호환되며, 다양한 유전체를 에칭하는 데 적합합니다. "플라즈마 '의 적용 된 힘 은 또한" 스파이크' 의 형성 없이 매끄럽고, 균일 하고, 예측 가능 한 "에치 프로파일 '을 보장 해 준다. AMAT 8330은 복잡한 기판 재료 제조에 필수적인 도구입니다. 고급 기능 세트 (advanced feature set) 와 정확한 머신 작업 (machine operation) 을 통해 가장 까다로운 프로세스를 통해 안정적이고 일관된 에치 성능을 제공할 수 있습니다. 이것은 정확성과 정확성이 필수적인 어플리케이션에 완벽한 선택입니다.
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