판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310A #9356368

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A (AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A) 는 습하고 건조한 공정에 필요한 환경을 제공하는 진공 챔버를 포함하는 에처/애셔 장비입니다. AMAT 8310A 의 독보적인 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 를 통해 구성 요소를 신속하게 교환하고 진공 상태를 유지할 수 있습니다. 전력 등급과 대용량, 통합형 소스 (Integrated Source) 기술을 통해 빠르고 효율적이며 반복 가능한 애싱/에칭 프로세스를 구현할 수 있습니다. 중공업 진공 시스템은 열 또는 무선 주파수 (radio-frequency) 에너지원으로 안전하게 재, 에치 및 드라이 클린 (dry clean) 을 제거하여 재료 제거를 최적화하면서 운영자 안전을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 8310A에는 AMAT ED3 제어 장치가 장착되어 있어 애싱/에칭 프로세스 (ashing/etching process) 와 진공기 관리를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 독자적으로 테스트/인증된 Closure, Environmental Seal 및 검증된 Process Management는 안정적이고 일관된 프로세스를 보장합니다. 또한, 고급 누출 테스트 및 진공 안정성 검출 (vacuum stability detection) 은 공구와 그 구성 요소의 안전을 보장합니다. 8310A는 습식 (wet) 및 건식 (dry etching) 을 포함한 다양한 재싱 및 에칭 프로세스에 맞게 조정됩니다. 플라즈마 에칭 (plasma etching) 과 같은 드라이 에칭 (dry etching) 프로세스에는 가장 섬세한 방식으로 재료를 제거하기 위해 열 또는 무선 주파수 에너지 발생이 포함됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8310A는 압력, 온도, 가스 흐름, 가스 구성 등의 프로세스 매개변수를 자동으로 제어하여, 재싱 (ashing) 및 에칭 레시피의 빠른 설정 및 최적화를 지원합니다. 고급 원격 제어 자산 (Advanced Remote Control Asset) 은 원격 진단 오류와 미디어 아카이브 액세스 옵션을 통해 Etcher/Asher 의 데이터 및 작동을 안전하게 제어할 수 있습니다. 또한 프로세스 조건을 실시간으로 모니터링할 수 있도록 내장된 진동 감지 (Vibration Detection) 모델을 통해 유연한 구성 및 프로세스 모니터링을 제공합니다. 아마트 (AMAT) 8310A (AMAT) 는 에칭 (eching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 향상시키고 자동화하는 수많은 기술 외에도 사이클 시간 단축, 생산성 증대 등 다양한 효율성 향상 기능을 제공합니다. 모듈식 아키텍처 (modular architecture) 는 프로세스 제어를 위한 최대 용량의 공간을 제공하며, 다양한 챔버 (chamber) 와 여러 에너지 공급원에 액세스할 수 있습니다. 이 때문 에 장비 는 "애싱 '," 에칭' 및 "드라이 클리닝 '을 효율적 으로 할 수 있게 되어 여러 가지 재료 와 기판 이 사용 된다. APPLIED MATERIALS 8310A는 빠르고, 효율적이며, 반복 가능한 에칭 및 애싱 프로세스가 필요한 산업에 적합합니다.