판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9196363

AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 Asher는 기판 청소 및 에칭 프로세스 모두에 사용되는 통합 에치 장비입니다. 고성능을 위해 설계된 에치 시스템에는 300mm 웨이퍼 크기가 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 시간당 최대 30 개의 웨이퍼로 처리량이 높아 생산 환경에 적합합니다. 이 장치는 사용할 수있는 에칭 가스에서 유연하며, 핫 플레이트 설계 (hot plate design) 로 인해 최대 500 ° C의 온도에 도달 할 수 있습니다. Class-1 안전 챔버가 장착되어 있으며 최대 온도 변화 1 ° C의 좋은 열 균일 성을 제공합니다. AMAT 8310 Asher는 박막의 정확한 에칭을 위해 고정밀 엠보스 메커니즘을 사용합니다. 이 제품은 강력한 하드웨어/소프트웨어 기능으로 설계되었으며, 이를 통해 압력과 가스 농도를 손쉽게 조정할 수 있습니다. 고급 플라즈마 머신 (Plasma Machine) 은 가동 중지 시간을 줄이고, 플라즈마 생성 및 처리 기능을 향상시켜 높은 품질과 신뢰성을 보장합니다. 이 에처 (etcher) 는 속도 및 정확도가 높아지는 사이클 시간을 제공하여 생산에 필요한 시간을 줄입니다. RF 및 DC 전원 공급 장치를 모두 장착하여 고/저 유전체를 에치할 수 있습니다. 제어 소프트웨어는 에칭 (etching) 프로세스 동안 각 웨이퍼를 모니터링하여 균일성과 품질 보장을 위해 설계되었습니다. 응용 자료 8310 (APPLIED MATERIALS 8310) 은 극심한 오염을 처리하고 청소하여 사용자가 프로세스 문제를 빠르고 쉽게 해결할 수 있도록 해줍니다. 이 공구는 높은 수준의 정적 (static) 입자와 필드 (field) 입자를 처리하여 향상된 청결 성과 향상된 수율을 제공 할 수 있습니다. 전체적으로 8310 Asher는 고품질 에칭과 깨끗함을 제공하는 고성능 에칭 자산입니다. 사용하기 쉽고, 뛰어난 열 균일성 (thermal unifority) 을 제공하여 높은 처리량과 뛰어난 에칭 (etching) 품질을 필요로 하는 생산 환경에 적합합니다.