판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #9122949

ID: 9122949
Oxide etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8310은 반도체 산업에서 일반적으로 사용되는 에처 및 애셔입니다. 이온 이식 및 증착 프로세스에 완벽한 솔루션입니다. 다기능 에처 (etcher) 로서 다양한 반도체 필름을 입금, 에치, 애셔 및 청소하는 데 사용될 수 있습니다. AMAT 8310은 탁월한 균일성, 반복성, 프로세스 제어 기능을 제공하여 소규모 웨이퍼 (Wafer) 및 저용량 어플리케이션에 이상적인 제품입니다. APPLIED MATERIALS 8310은 다양한 에너지 원으로 작동하도록 설계되었으며 RF 및 N2 에칭 기능을 모두 지원합니다. 여러 프로세스 모듈을위한 고급 축 단계 (advanced axial stage), 대형 챔버 (large chamber) 및로드 락 챔버 (load lock chamber) 를 포함하여 다양한 기능이 장착되어 있습니다. PM2 프로세스 모듈에는 프로세스 미세 튜닝을 위해 최적화 된 이온 밀 (ion mill) 및 양극 원심 분리가 장착되어 있습니다. 8310은 고속, 대용량 프로세스 기능뿐만 아니라 높은 정밀도 애셔 기능을 제공합니다. 편리한 작업을 위해 사용자 친화적 인터페이스와 내장형 EGA Auto Remote Interface (ERI) 시스템과 통합되어 있습니다. RF 및 N2 에치 프로세스를 모두 허용하는 2 피스 시스템은 저/고 생산 볼륨에 이상적입니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8310에는 핫 가스 시스템 (Hot Gas System) 과 파인 튜너 (Fine Tuner) 가 제공되어 낮은 열 스트레스에서 높은 수율을 제공하는 최적의 증착 프로세스를 제공합니다. 비접촉 에디 전류 센서 (eddy current sensor) 는 광범위한 온도에서 정확한 강착 측정을 가능하게합니다. AMAT 8310 은 신뢰할 수 있는 성능을 제공하도록 설계되었으며, 24 개월 보증이 지원되므로 업계/연구 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다. 강력한 디자인과 높은 공정 제어 기능을 갖춘 APPLIED MATERIALS 8310 (APPLIED MATERIALS 8310) 은 높은 품질의 결과를 위해 조작할 수 있는 매개변수를 완벽하게 제어합니다.
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