판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8310 #293619544

AMAT / APPLIED MATERIALS 8310
ID: 293619544
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 1990
Oxide etchers, 6" 1990 vintage.
AMAT (APPLIED MATERIALS) AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 etcher/asher는 최고의 산업 요구를 충족하도록 설계된 고급 산화 에처입니다. 이 장비는 뛰어난 성능을 제공하기 위해 뛰어난 엔지니어링 및 산업용 구성 요소로 제작되었습니다. 이 열 산화 에처는 Si, Ti, Ni 및 Nb 및 기타 금속 및 합금과 같은 재료에 이상적입니다. 이 시스템에는 개방형 아키텍처 (open-architecture) 와 모듈식 컴팩트 (compact) 디자인이 포함되어 있어 설치 및 유지 보수가 매우 간편합니다. AMAT 8310 etcher/asher 장치는 처리 실, 공정 컨트롤러 및 전원 공급 장치의 세 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 가공 챔버 (Processing Chamber) 는 높은 균일 성을 생성하고 균일 한 가스 흐름 및 에칭/애싱 결과의 균일성을 허용하는 수직 챔버 조명기를 특징으로합니다. 프로세스 컨트롤러에는 직관적인 사용자 인터페이스 (user-interface) 와 사용자 정의 가능한 프로그래밍 (customizable programming) 이 있어 다양한 에칭 작업에 대한 정확한 제어 설정이 가능합니다. 그리고 전원 공급 장치는 에치 온도를 정확하게 제어하기 위해 전파 전원 제어를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 8310 etcher/asher는 Si 및 glasse와 같은 물질의 고급 산화 에칭을 수행 할 수 있으며, 스트레스가 적은 산화물 스트리핑 기능도 제공합니다. 기계는 최대 900 ° C의 온도에서 재료를 처리하도록 프로그래밍 될 수 있습니다. 이 도구는 또한 샘플에 대한 스트레스를 최소화하는 배기 속도 제어 (Exhaust Velocity Control) 와 에칭 프로세스를 실시간으로 볼 수있는 가스 뷰 포트 (Gas Viewing Port) 를 제공합니다. 에칭 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 것 외에도 8310 etcher/asher (에처/애셔) 에는 여러 가지 유용한 기능이 포함되어 있습니다. 여기에는 에칭 프로세스의 정확한 시각화를 위한 열 이미징 카메라 (thermal imaging camera) 와 정확한 두께, 속도 제어 및 산화물 레이어의 정확한 깊이 제어 (depth control) 가 포함됩니다. 이 자산에는 최고 수준의 결과를 보장하는 지능형 데이터 획득 모델 (Intelligent Data Acquisition Model) 과 향상된 추적 가능성 패키지 (Traceability Package) 도 포함되어 있습니다. 이 장비는 얕은 에칭 (shallow) 과 깊은 에칭 (deep etching) 과 같은 다양한 특정 에칭 작업을 수행하도록 프로그래밍 될 수도 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8310 etcher/asher는 오늘날 산업의 요구를 충족시키기 위해 설계된 업계 수준의 산화 에처입니다. 이 신뢰성 있고 신뢰할 수있는 에처 (etcher) 는 고급 엔지니어링 및 컴포넌트로 제작되어 재료의 효율적이고, 균일하며, 통제 된 산화 에칭을 제공합니다. 직관적 인 프로그래밍과 정확한 제어를 통해 다양한 에칭 (etching) 작업에 이상적인 솔루션을 제공합니다.
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