판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300E #9244442
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AMAT/APPLIED MATERIALS 8300E Etcher/Asher는 차세대 10KW ICP 에칭 기술을 사용하여 고급 프로세스 노드에서 높은 종횡비 구조를 빠르고 정확하게 불러옵니다. 이 시스템은 Silicon, Polysilicon, Tungsten, Copper, Ni/V/Ti, III-V 화합물 및 기타 식각하기 어려운 재료와 같은 다양한 재료를 에치하도록 특별히 설계되었습니다. 또한, AMAT 8300E는 온도 의존적이며, 높은 변이 프로세스에 대한 에치 매개 변수를 미세 조정 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 8300 E는 종횡비 구조로 확장하여 5nm 이하의 프로세스 노드에 대한 혁신적인 구성 요소를 구성 할 수 있습니다. 또한 멀티 포인트 투여, 장치 활성화 지원 전반에 걸쳐 순도를 높이기 위한 사이트 내 (in situ) 이중 방향 클리닝, 프로파일 수정을위한 유전체 사용과 같은 몇 가지 비시야적 (non-line-of-sight) 기능이 통합되어 있습니다. 이것은 에치 프로세스의 품질을 크게 증가시킵니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 E에는 고급 모니터링 및 제어 기능도 있습니다. 백엔드 지원, 사용자 지정 확산 종료 제어 (Custom Diffusion Exit Control) 및 고급 수익률 관리와 결합된 통합 프로세스 모니터링을 통해 비용을 최소화하고 다운타임을 줄일 수 있습니다. 또한 효율적인 소프트웨어 알고리즘을 통해 공정 챔버 (process chamber) 의 흐름 속도, 압력 및 온도를 정확하게 조정할 수 있습니다. 8300E는 높은 안정성과 향상된 성능, TCO 절감, 생산성 향상을 제공합니다. APPLIED MATERIALS 8300E는 여러 사이트에서 다중 플랜트 작업을 지원합니다. 다중 영역 (multi-zone) 기능을 통해 사용자는 다양한 에칭 매개변수를 구성할 수 있으므로 프로세스 기능을 최대화할 수 있습니다. 8300 E Etcher/Asher 는 최첨단 에칭 솔루션으로서 고급 프로세스 노드에서 높은 수준의 유연성, 생산성, 신뢰성을 제공합니다.
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