판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #9261704

AMAT / APPLIED MATERIALS 8300
ID: 9261704
Poly etcher.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher는 많은 응용 프로그램에 대해 매우 정확한 구조와 표면을 빠르게 생산할 수 있는 고성능 도구입니다. 이 장비에는 성능, 다용도, 안전성을 향상시키기 위해 설계된 다양한 기능이 있습니다. AMAT 8300 Asher/Etcher는 저가의 단일 종단 UHF-RF (Ultra-High Frequency Radio-Frequency) 생성기를 기반으로하며 1000 와트의 가열 전력을 지원합니다. 작업 압력은 10 - 500mBar이며, 최대 12 개의 다른 레시피를 동시에 실행할 수 있습니다. 이 시스템은 가스 및 액체 에칭 미디어와 호환됩니다. APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher는 기판의 정확한 표면 강착을위한 고정밀 XY 축 이동 장치를 갖추고 있습니다. 또한 쉽게 조정 가능한 레이어 높이 제어를 가능하게 하는 미세한 Z축 접근 방식도 있습니다. 또한 독립적 인 고주파 내부 반사계 (internal reflectometer) 를 사용하여 기질의 반사도에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 8300 Asher/Etcher는 프로세스 개발 및 중대형 부품 생산을 위해 설계되었습니다. 12 인치 절연 챔버, 대형 제품 로딩을위한 충분한 공간, 플라즈마 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하는 컬러 터치 디스플레이 (Color Touch Display) 가 특징입니다. 또한 기판을 쉽게 적재 및 언로드할 수있는 선형 유리 도어가 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher는 우발적 인 작동을 방지하기 위해 설계된 독특한 안전 잠금 장치 (Safety Locking Machine) 와 챔버 내에서 위험한 조건을 감지하는 자동 중단 도구를 포함합니다. 이 자산은 또한 프로세스 매개변수에 대한 전자 모니터링 및 제어 (control) 기능을 제공하여 고품질 부품 생산을 보장합니다. AMAT 8300 Asher/Etcher는 무기, 반도체 및 탄소 기반 재료와 같은 다양한 재료로 만들어진 기질의 에칭 및 애싱에 사용할 수 있습니다. 공정 제어 (process control) 를 높게 수행하고, 레시피 변경을 용이하게 하며, 정확한 표면 증착을 제공합니다. 이 모델은 다양한 에칭 및 애싱 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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