판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8300 #101449

AMAT/APPLIED MATERIALS 8300 Asher/Etcher는 실리카, 쿼츠, 실리콘, 저마늄 및 기타 반도체를 포함한 다양한 재료의 에칭 또는 재싱을 위해 설계된 2 단계, 고 처리량, 석판화 호환, 열 화학 처리 장비입니다. 이 시스템은 고속 (시간당 90 개 이상의 웨이퍼) 과 높은 균일성으로 작동 할 수 있습니다. AMAT 8300 장치에는 고진공, 다단계 애셔 플랫폼, 고성능, 저진공 애셔/에칭 챔버가 장착되어 있어 프로세스 처리량이 쉽습니다. 고진공 기계는 최대 1.2E-7 torr의 압력을 얻을 수 있으며, 이 과정에서 균일 함을 허용합니다. 스루 웨이퍼 처리 챔버는 저진공 작동에 최적화되어 있습니다. 높은 처리량 에칭/애싱 챔버에는 공정 가스 선택, 가스 흐름 컨트롤러 및 온도 컨트롤러가 포함됩니다. 이러한 모든 컴포넌트는 공정의 최적의 제어를 위해 감도 (sensitively) 온도 모니터링 및/또는 프로세싱됩니다. 최종 결과는 다양한 유형의 애셔 (asher) 또는 에처 (etcher) 에서 볼 수있는 전형적인 다듬기로 뛰어난 에지 정의, 저시트 저항 및 최소 로딩 효과입니다. APPLIED MATERIALS 8300은 고귀한 가스가 장착 된 특허를받은 전극없는 플라즈마 소스를 특징으로하며, 이는 프로세스 매개변수에 대한 높은 예측 가능성을 제공합니다. 이것은 프로세스 전반에 걸쳐 균일성을 보장합니다. 이 도구에는 업스트림 가스 박스 (upstream gas box) 와 가스 믹싱 에셋 (gas mixing asset) 이 장착되어 있어 프로세스 가스를 온도 조절과 함께 정확하고 정확하게 측정 및 모니터링 할 수 있습니다. 8300은 탁월한 처리량을 제공하도록 설계되었습니다. 고진공 모델은 시간당 최대 90 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 저진공 장비는 시간당 45 개의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 즉, 크기와 두께가 다른 많은 웨이퍼 (wafer) 를 빠르게 처리 할 수 있습니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS 8300은 직관적인 UI (User Interface) 를 통해 사용이 간편하며, 이를 통해 사용자는 쉽게 프로세스를 설정하고 실행할 수 있습니다. UI에는 레시피 라이브러리, 프로세스 모니터, 히스토리 로그 등의 고급 도구가 포함되어 있습니다. 이를 통해 사용자는 프로세스 성능을 신속하게 분석하고 그에 따라 조정할 수 있습니다. 전반적으로 AMAT 8300 Asher/Etcher는 고급 프로세스에 대한 다양한 재료를 에칭/재싱하기위한 매우 강력하고 신뢰할 수있는 시스템입니다. 높은 처리량, 균일성 (unifority) 을 제공하도록 설계되었으며, 프로세스를 빠르고 쉽게 설정하고 실행할 수 있는 사용자에게 친숙한 인터페이스를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 8300 은 뛰어난 프로세스 결과와 뛰어난 유연성과 확장성을 제공합니다.