판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8116 #9226746

AMAT/APPLIED MATERIALS 8116은 반도체 처리에 사용되는 고성능 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 특히 얇은 필름의 정확하고, 정확하고, 매우 정확한 증착과 에칭을 위해 설계되었습니다. 청소 (cleanroom) 환경에서의 생산 공정 (production process) 용으로, 다양한 반도체 재료 및 응용 분야에 적합합니다. AMAT 8116은 단일 웨이퍼 로딩 장치를 통해 빠르고 안정적인 처리량을 제공합니다. 오픈 프레임 플랫폼 설계는 고성능 진공 작동을 가능하게합니다. 이 기계는 또한 확장 된 작동 압력, 높은 제어 정확도 및 온도 균일성을 특징으로합니다. 응용 재료 8116 (APPLIED MATERIALS 8116) 의 독립적 인 온도 제어 도구를 사용하면 전체 강착 또는 에치 프로세스 전반에 걸쳐 정밀한 열 제어를 할 수 있습니다. 이 자산은 광역 및 멀티 스팟 모두 고정밀 Asher/Etcher 증착 공정이 가능하며 스루 마스크 및 스루 옥사이드 증착을 수행 할 수 있습니다. 애셔/에처 (Asher/Etcher) 는 건식 에칭 공정에 사용될 수 있으며 반도체 소자의 트렌치 구조 형성에 주로 사용된다. 모든 배치 (deposition) 및 에칭 프로세스 매개변수는 터치스크린의 사용자에게 친숙한 그래픽 인터페이스를 통해 설정됩니다. 안정성은 Plug and Play (플러그 앤 플레이) 개념과 높은 온도 조절을 통해 보장됩니다. 이 모델은 24/7 프로덕션 모드에서 작동할 수 있도록 설계되었으며, 지능형 장비 기능이 완전히 통합되어 있습니다. 소프트웨어는 자동화된 프로세스 시퀀스 제어 및 모니터 기술을 허용합니다. 8116은 산 기반 안전 관리 시스템을 포함하여 고급 안전 개선 사항을 제공합니다. 안전 장치는 목욕 수온 및 pH 모니터링, 경보 시스템 및 적절한 등급의 보호 연료 후드로 구성됩니다. 또한 50 개 이상의 부품 무결성 모니터링 툴이 장착되어 있어 결함이 없는 부품 (Part Integrity Monitoring Tool) 이 에칭 유닛에 재진입하여 고객에게 전송됩니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8116은 탁월한 증착 정확도, 균일성 및 반복성을 제공하는 고성능, 유연한 에칭 및 증착 자산입니다. AMAT 8116 은 일종 확장 (one-of-type) 작동 압력, 온도 조절 및 안전 시스템을 통해 광범위한 반도체 애플리케이션을 위한 완벽한 솔루션입니다.