판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9269146

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110은 우수한 플라즈마 에칭 성능을 제공하여 뛰어난 프로세스 품질 및 반복 성을 제공하는 에처/애셔입니다. 다양한 재료를 에칭할 수있는 일종 장비입니다. 이 시스템에는 2 개의 독립적 인 프리미엄 컨트롤러 (Premium Controller) 와 2 개의 기판 척 (chuck) 이 장착되어 있으며, 여러 재료를 실행하고 레시피를 처리하도록 설계되었습니다. AMAT 8110 장치는 다양한 어플리케이션에서 모든 etch 작업에 대해 처리량이 많은 대용량 (high-throughput) 생산 프로세스를 제공합니다. 고성능 챔버는 모든 기판 크기를 수용하며 APM 1700 또는 1400 피드 머신 (더 큰 볼륨의 경우) 으로 사전 구성됩니다. APPLIED MATERIALS 8110에는 고급 디지털 튜브로 (digital tube furnace) 및 대규모 배기 냉각 공구가 포함되어 있어 빠른 램프 속도와 깊은 에치 성능을 제공합니다. 8110 은 추적 가능 파일, 매개변수 파일, 프로세스 모니터 등의 통합 프로세스 모니터링 툴을 통해 뛰어난 반복성을 제공합니다. 따라서 일관된 자산 산출과 성능이 보장됩니다. 디지털 튜브 퍼니스 (digital tube furnace) 는 빠른 온도 램프를 가능하게 하며 에치 프로세스의 중요한 부분의 변동을 최소화합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8110은 3 개의 에치 전극으로 인해 뛰어난 유연성을 제공하면서 프로세스 제어 및 반복 성을 향상시키는 유연한 전극 설계를 특징으로합니다. AMAT 8110에는 동적 압력 컨트롤러, 산소 및 불소 흐름 제어, 아크 전압 조절 등 다양한 컨트롤이 있습니다. 이를 통해 사용자는 에치 (etch) 프로세스를 조정하고 가장 좋은 결과를 얻을 수 있도록 프로세스를 조정할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 8110은 금속, 폴리머, 절연체 및 반도체를 에칭하는 데 사용될 수 있으며, 각 재료 유형에서 경쟁 성능을 제공합니다. 마지막으로, 8110 은 기존 셀 아키텍처에 통합되어 완전한 모델 구성의 일부로 다른 AMAT 장비와 쌍을 이룰 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8110은 고성능 에치 어플리케이션에 적합한 에처/애셔입니다. 첨단 기술과 설계는 모든 재료 유형에 대해 탁월한 에치 성능, 반복 가능성, 제어 기능을 제공합니다. 사용자 친화적인 이 장비는 사용자에게 최고의 수준의 프로세스 성능과 생산성을 제공합니다.