판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8110 #9144929

AMAT/APPLIED MATERIALS 8110 (AMAT) etcher/asher는 수동층, 유전체 및 금속 재료의 증착, 웨이퍼 청소 및 에칭에 이상적인 다용도, 신뢰할 수있는 에칭 및 애싱 장비입니다. AMAT 8110은 고효율, 저온 플라즈마 소스를 특징으로하며, 이를 통해 제어 및 반복 가능한 에칭 프로세스를 수행할 수 있습니다. 효율적이고 균형 잡힌 반응성 이온 빔/가스 흐름 기능으로 APPLIED MATERIALS 8110은 에칭 프로세스 매개변수 및 챔버 조건을 완벽하게 제어합니다. 단순한 사용자 인터페이스와 고효율 운영 (UHD) 기능을 통해 숙련도가 낮은 운영자에서도 8110 을 사용할 수 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8110은 또한 고속 에칭, 높은 선택성 에칭 및 금속, 유전체 및 수동화 층의 드라이 클리닝을 수행 할 수 있습니다. AMAT 8110의 에칭 및 재 기판은 뛰어난 처리 균일성 및 웨이퍼 표면 품질을 갖습니다. 균일 성은 균형 잡힌 3 구역 에치 처리를 통해 달성됩니다. APPLIED MATERIALS 8110은 또한 에치 레이트 (etch rate) 및 오버 에칭 (over etching) 에서 다운 스트림 오염을 모니터링하는 고감도 현장 엔드 포인트 탐지를 특징으로합니다. 또한 etch stop 기능을 사용하면 etch 프로세스를 정확하게 종료 할 수 있습니다. 8110의 플라즈마 소스 (plasma source) 는 에치 속도 (etch rate) 와 온도 분포를 균일하게 제공하여 대규모 생산 라인에 적합합니다. 또한, AMAT/APPLIED MATERIALS 8110은 에칭 가스의 빠르고, 설정 및 조정을 통해 매우 빠른 프로세스 사이클 시간을 가능하게합니다. 또한, 시스템은 에칭 중 웨이퍼를 열 스트레스로부터 보호하기 위해 과압 절단 장치 (overpressure cutting unit), 과압 감지 스위치 (overpressure sensing switch) 및 냉각기 (cooling machine) 를 포함한 다양한 내장 안전 기능을 제공합니다. 또한 AMAT 8110 은 안정성과 간편한 유지 관리 기능을 통해 구축되었으며, 이를 통해 신뢰할 수 있는 작업을 수행할 수 있습니다. 변화하기 쉬운 5 개의 진공 펌프를 사용하면 유지 보수가 쉬워지고 자동 진공 도구는 유지 보수가 번거롭지 않습니다. 또한, 자동 청소 자산을 사용하면 챔버에서 오염을 빠르고 쉽게 제거 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 8110 etcher/asher는 금속, 유전체 및 수동층의 에칭 및 재싱을 위해 설계된 효과적이고 매우 다양한 모델입니다. 저온 플라즈마 소스, 균일 한 에치 레이트 및 온도 분포, 높은 선택도 에칭, 현장 엔드 포인트 감지, 과압 절단 장비 및 기타 안전 기능으로 안정적인 처리를 보장합니다. 사용자 친화적 인터페이스와 간편한 유지 보수 (maintenance) 기능을 통해 다양한 프로세스 단계에서 사용자가 신속하고 정확하게 작업을 완료할 수 있도록 지원하는, 신뢰할 수 있는 작업입니다.