판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356906

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100은 반도체 장치 생산을위한 에처/애셔입니다. 컴팩트한 디자인, 다양한 에치 (etch) 기능, 높은 처리율을 통해 저용량 (low-volume) 생산 및 엔지니어링 어플리케이션 모두에 이상적인 솔루션이 됩니다. 아마트 8100 (AMAT 8100) 은 복잡한 필름 구조의 정확한 제어 및 처리를 위해 수작업 방법보다 더 높은 소스 파워를 제공하는 내장형 마이크로파 발전기를 제공한다. 이 발전기는 또한 내부 압력 컨트롤러 (in-situ pressure controller) 와 짝을 이루어 정확한 에치 균일성을 보장하고 드리프트에 대한 감수성을 줄입니다. APPLIED MATERIALS 8100 플레이트 (APPLIED MATERIALS 8100 Plate) 는 가공소재와 공정 유체 사이의 긴밀한 접촉을 통해 프로세스 결과의 균일성을 최적화하기 위해 설계된 혁신적인 멀티 포인트 로드 락 (Multi-Point Load-Lock) 장비를 갖추고 있습니다. 8100에는 프로세스의 안전, 신뢰성, 정확성을 보장하는 다양한 용접, 연동 구성 요소가 장착되어 있습니다. 이 시스템은 자동 고정 (autofeed lock-in) 기능을 사용하여 프로세스 동안 모든 안전 구성 요소가 안전하게 중단되도록 합니다. 또한 AMAT/APPLIED MATERIALS 8100은 통합 카세트 대 웨이퍼 리프트 및 전송 장치를 자랑하여 로드 시간을 최적화하고, 로드 오류를 줄이고, 프로세스 결과의 균일성을 보장합니다. AMAT 8100 의 고급 자동화/프로세스 제어 시스템 (Automation and Process Control System) 을 사용하면 에치 프로세스를 실시간으로 모니터링하고 즉석에서 조정할 수 있습니다. 여기에는 광범위한 프로세스 측정 및 경보, 전체 데이터 표시 및 제어, 반복 가능한 에치 (etch) 프로세스를 위한 다중 레시피 (multiple-recipe) 메모리 및 스토리지가 포함됩니다. APPLIED MATERIALS 8100 에는 고급 유체 관리 시스템 (Advanced Advanced Fluid Management Machine) 이 포함되어 있어 원하는 Etch 프로세스에 가장 적합한 온도 및 흐름 분배를 구성할 수 있습니다. 8100에는 부식제, 포토리스트 (photoresist), 유전체 등 다양한 유체를 가져 오는 데 사용할 수있는 여러 개의 온보드 라인이 있습니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8100은 가스 전달, 운영자 서명, 사용자 정의 데이터 로깅 등 소모품을 효율적으로 관리할 수 있도록 지원합니다. 기능의 조합을 고려할 때, AMAT 8100 etcher/asher는 반도체 장치 생산을위한 고가용성, 신뢰할 수있는 솔루션입니다. APPLIED MATERIALS 8100 의 추가된 Safety, Precision, Automation 시스템은 저용량 및 대용량 생산/엔지니어링 어플리케이션 모두에 적합한 솔루션입니다.