판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #9356903
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ID: 9356903
Oxide etcher
CTI-CRYOGENICS Cryo-Torr Vacuum pump
LEYBOLD-HERAEUS Turbotronik NT 450 Vacuum pump controller
LEYBOLD-HERAEUS Turbo pump
Boards: CPU, PROMA, RAM, PROMB, A/N, C/D, (3) DI, (3) DO, ADC, DAC, SIO
Mass Flow Controller (MFC):
Make / Model / Gas / Range
TYLAN / FC-260V / N2 / 100 SCCM
TYLAN / FC-260 / N2 / 100 SCCM
TYLAN / FC-260 / N2 / 50 SCCM
TYLAN / FC260KZ / BCL3 / 200 SCCM.
AMAT/APPLIED MATERIALS 8100은 고급 반도체 제조 공정을 위해 설계된 고정밀 에처/애셔 장비입니다. 이 시스템은 고급 리소그래피 (lithography) 기술을 사용하여 에칭/애싱 어플리케이션을 위한 정확하고 일관된 결과를 제공하도록 설계되었습니다. 고급 패턴 및 미크론 레이어 에칭/애싱에 물리적 증기 증착 (PVD) 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 기술을 사용합니다. AMAT 8100은 CompuShape 소프트웨어 (CompuShape 소프트웨어) 를 사용하여 기판 표면에 모양과 패턴을 정확하게 형성 할 수 있습니다. 고급 제어 장치를 사용하여 APPLIED MATERIALS 8100은 프로세스의 일관성과 정확성을 보장합니다. 컴퓨터 제어 챔버 온도, 압력, 흐름을 모두 모니터링, 조정하여 프로세스 성능을 극대화할 수 있습니다. 이 기계는 또한 프로세스 매개변수 및 안정성을 검증하기 위해 테스트를 수행 할 수 있습니다. 8100은 또한 예측 가능한 성능을 뛰어넘는 인상적인 기능 세트를 제공합니다. 이 도구에는 100 개의 가스를 갖춘 사내 가스 자산이 장착되어 있으며, 최소한의 노력으로 최대 30 개의 프로세스에 액세스 할 수 있습니다. photomask 및 auto-alignment 기능을 사용하여 원하는 패턴을 기판과 완벽하게 정렬할 수 있습니다. 또한, 사용자에게 친숙한 인터페이스 및 자체 진단 기능을 통해 AMAT/APPLIED MATERIALS 8100은 대부분의 에칭/애싱 프로세스에 이상적인 선택이 됩니다. 안전성 측면에서 볼 때, AMAT 8100 은 잠재적인 위험을 줄이고 운영 오류를 방지하는 업계 표준 안전 (Safety) 기능을 갖추고 있습니다. 진공 내 자동 필터 모델은 클린 룸 등급 에칭/애싱 환경을 보장하기 위해 추가 입자 제어를 제공합니다. APPLIED MATERIALS 8100 에는 장비 (장비) 및 사용자 잠금 (사용자 잠금) 기능이 모두 포함되어 있어 시스템에 무단 변경이 발생하지 않습니다. 8100 은 강력한 etcher/asher 단위로, 다양한 애플리케이션 및 프로세스 요구 사항에 적합합니다. 정밀 제어 기능과 고급 석판화 기술 (Advanced Lithography Technology) 을 통해 정교한 패턴과 모양은 최고 수준의 정확도와 반복 (Repeatability) 으로 에치 (ech) 하거나 재시 할 수 있습니다. 강력한 기능 세트, 안전 (Safety) 기능, 사용자 친화적 인터페이스를 통해 가장 까다로운 반도체 제작 프로세스를 위한 안정적이고 비용 효율적인 선택이 가능합니다.
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