판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 8100 #293645356

AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 etcher/asher는 반도체 장치의 고 생산성 나노 메트릭 에칭 및 재싱을 위해 설계된 장비입니다. AMAT 8100 etcher/asher에는 최대 300C의 온도에서 최대 200mm 크기의 기판을 처리 할 수있는 ColdWall ™ 처리 챔버가 포함되어 있습니다. 이 시스템은 유도 결합 플라즈마 기술을 사용하여 다양한 재료의 빠르고 균일 한 에칭을 사용합니다. 이렇게 하면 재싱 및 에칭 작업에서 1분 이하의 주기 시간이 가능합니다. APPLIED MATERIALS 8100 etcher/asher는 기판 자동 로드 및 언로드를위한 이중 배럴 전송 메커니즘도 갖추고 있습니다. 듀얼 배럴 (Dual Barrel) 설계를 통해 보다 빠른 로드 및 언로드, 여러 레시피를 실행할 수 있는 유연성 향상 8100 etcher/asher는 실리콘, 실리카, 알루미늄, 텅스텐, 유전체 등과 같은 일반적으로 사용되는 많은 재료에 대한 프로세스 레시피 및 호환 가능한 에치 가스를 지원합니다. 이 장치는 압력 (Pressure), 플라즈마 전원 (Plasma Power), 가스 흐름 처리 (Process Gas Flow) 와 같은 다양한 물리적 프로세스 제어 변수를 제공하여 에칭의 유연성을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 8100 etcher/asher 또한 강력한 데이터 로깅 및 분석 기능을 제공하며, 사용자 정의 레시피를 작성, 저장, 관리할 수 있는 포괄적인 레시피 라이브러리를 통해 프로세스 설정 및 실행을 가속화합니다. AMAT 8100 etcher/asher는 채우기, 접촉 구멍 에칭 및 반사 방지 코팅 제거를 통한 응용 분야에 이상적인 기계입니다. 이 도구는 뛰어난 프로세스 반복성과 성능을 제공하도록 설계되었습니다. 사용자 친화적인 설계와 유연성을 통해 광범위한 프로세스 어플리케이션 (process application) 에 적합합니다. 따라서 사용자는 에칭 (etching) 을 극대화하고 생산성을 높일 수 있습니다.