판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 5200 #170744

AMAT/APPLIED MATERIALS 5200은 차세대 재료에서 안정적이고 고품질 에치, 애셔 및 기타 공정 성능을 제공하도록 설계된 고급 에치/애쉬 장비 (etcher/asher) 입니다. 이 시스템은 공정 챔버 (process chamber) 와 선형 동작/변환 어셈블리 (linear motion/translation assembly) 로 구성되어 기판의 정밀도 에치/애쉬를 용이하게합니다. AMAT 5200은 프로세스 챔버에 가스 (gas) 나 증기 (vapor) 를 도입하고 챔버의 내용을 다양한 흐름 제어 및 프로세스 제어 매개변수에 적용함으로써 작동합니다. 고급 제어 (Advanced Control) 및 프로세스 (Process) 기능을 결합하면 견고하고 신뢰할 수 있는 장치를 제공하여 다양한 기판을 수용할 수 있으며, 최고 수준의 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 결과를 얻을 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 5200의 기본 모델에는 25.4cm x 25.4cm (10 "x 10") 의 공정 챔버가 있으며, 에치/애쉬 구성을 위해 최대 5000W의 전진 및 역 전력을 수용 할 수 있습니다. 이를 통해 사용자는 각 프로세스 또는 애셔 (asher) 구성에 대해 최대 30W까지 실행할 수 있으며, 보다 뛰어난 다용도와 선택이 가능합니다. 5200은 최대 1000 ° C의 온도, 가습성 및 가스 흐름 관리를 허용합니다. AMAT/APPLIED MATERIALS 5200에는 에치 (etch) 또는 애쉬 (ash) 공정의 유해한 부산물로부터 사용자를 분리하기위한 최신 챔버 차폐 기술이 있습니다. 사용 된 차폐 재료는 원치 않는 배출으로부터 보호하기 위해 와전류 차폐 구조입니다. AMAT 5200은 시간이 지남에 따라 프로세스 조건을 반복적으로 유지할 수 있도록 설계된 정확한 드라이브 머신을 제공합니다. 이것은 특허를받은 동기 에디 전류 모터 (synchronous eddy current motor) 로 구동되는 선형 모션 (linear motion assembly) 에 의해 가능하여 에치/애쉬 공정의 정확성과 반복성을 보장합니다. APPLIED MATERIALS 5200에는 두께 모니터링 (Thickness Monitoring), 종단점 감지 (End-Point Detection) 등의 옵션 컨트롤도 포함되어 있어 프로세스를 실시간으로 모니터링할 수 있습니다. 5200에는 다중 셀 프로세스 모니터링 도구 (multi-cell process monitoring tool) 가 있는데, 이 도구를 사용하여 프로세스 반복성을 향상시키기 위해 etch/ash 프로세스의 각 단계를 모니터링할 수 있습니다. 마지막으로, AMAT/APPLIED MATERIALS 5200은 사용자가 설비 내의 다른 프로세스나 장비를 활용할 수 있는 완벽한 통합 기능을 갖추고 있습니다. 이를 통해 사용자는 기존 에치/애쉬 레시피를 AMAT 5200으로 쉽게 전환 할 수 있습니다. 전체적으로 APPLIED MATERIALS 5200은 다양한 기판에 대해 최신 고품질 에치/애쉬 (etch/ash) 기능을 제공합니다. 고급 프로세스 챔버, 차폐 재료, 정확한 드라이브 자산, 데이터 모니터링 및 통합 기능을 갖춘 5200 은 차세대 etch/ash 성능을 원하는 사용자에게 이상적인 솔루션입니다.