판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0240-92696 #171999

AMAT/APPLIED MATERIALS 0240-92696은 다양한 박막 재료의 챔버 에칭 및 재싱을 위해 설계된 etcher/asher 플랫폼입니다. etcher/asher에는 샘플 로드/언로드를위한 완전 자동화 장비가 있으며 Windows 기반 HMI가 있습니다. 5 포켓 전기 광택 모듈과 6 포켓 드라이 에치 모듈의 2 가지 프로세싱 모듈이 장착되어 있습니다. 두 모듈 모두 이중 프로세스 챔버 설계 (dual process chamber design) 를 특징으로하며, 각 챔버에서 독립적 인 프로세스가 가능하며 직경이 최대 18 인치 인 대형 기판을 처리 할 수 있습니다. 에처/애셔 시스템은 습식 에칭, 플라즈마 에칭 및 반응성 이온 에칭 (RIE) 을 포함한 여러 가지 에칭 기술을 사용하여 금속, 실리콘, 갈륨 비소, 세라믹 및 유리를 포함한 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 습식 (wet etch) 모듈에는 부식성 에칭 화합물을위한 가열식 욕조와 깨끗하고 효율적인 처리를 위해 별도의 린스 (Rinse) 및 벤트 (Vent) 시스템이 장착되어 있습니다. 플라즈마 에칭 모듈은 무선 주파수 (RF) 소스 전원을 사용하여 방향성 (directional) 및 등방성 (isotropic) 에칭을 모두 가능하게 합니다. RIE 모듈은 고밀도 플라즈마를 사용하여 최소 파편으로 정확한 패턴 에칭을 달성합니다. AMAT 0240-92696에는 정교한 모니터링 및 제어 기능이 포함되어 있어 정확하고 반복 가능한 프로세스가 가능합니다. 예를 들어, 자동 샘플러를 사용하면 etcher/asher 장치가 두 모듈 모두에서 온도, 압력 및 ICP RF 전원을 지속적으로 모니터링할 수 있습니다. 직관적인 GUI (Graphical User Interface) 를 통해 원활한 작업을 수행할 수 있도록 최소한의 연산자 작업이 필요합니다. 이 기계에는 자동 배기 (automated exhaust) 관리 툴이 포함되어 있어 모든 가스가 공구에서 제대로 배기 (vented) 되도록 보장할 수 있으며, 보호 기능을 강화하기 위한 긴급 차단 (emergency shut-off) 스위치도 포함되어 있습니다. 전반적으로 APPLIED MATERIALS 0240-92696은 사용자에게 다양한 고정밀 에칭 및 애싱 기능을 제공하는 고급 etcher/asher 플랫폼입니다. 통합 자동화 자산 (Automation Asset) 과 모니터링 제어 (Monitor Control) 는 사용자의 참여를 최소화하면서 정확한 프로세스를 보장하며, 다양한 에칭 기술을 통해 다양한 애플리케이션에 사용할 수 있습니다.