판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0040-77771 #293596913

ID: 293596913
Polymide ESC, 195 mm.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-77771 (AMAT/APPLIED MATERIALS 0040-7771) 은 저온 건조 에칭 및 애싱 (ashing) 을 위해 설계된 아트 에처 또는 애셔의 상태로, 환상적인 품질의 결과를 제공합니다. 이 고성능 에처 (HPC) 는 가장 높은 속도 제어 매개변수와 정밀도 제어를 제공하여 중요한 프로세스 단계를 지원합니다. 극도로 단단한 기능 프로파일 제어 (profile control) 와 낮은 결함 밀도 (low defect density level) 로 최고의 품질 기판을 제공하도록 설계되었습니다. 이 에처는 폴리실리콘, 이산화실리콘, 폴리 이마이드, Al/Cu 및 Al/Si 및 질화실리콘의 다양한 물질에 적합합니다. 얕은 에칭, 딥 에칭, DRIE (deep reactive ion etching), 플라즈마 에칭, 이온 밀링 및 이온 빔 에칭을 포함하는 강력한 웨이퍼 레벨 프로세스를 제공합니다. 에처 (etcher) 의 독특한 고급 조정은 플럼 지속 시간 (plume duration) 과 듀티 사이클 (duty cycle) 을 정확하게 제어하여 얕은 피쳐에서 매우 깊은 피쳐까지 다양한 패턴을 가능하게 하며, 에칭 (etching) 프로세스와 애싱 프로세스 사이를 전환하는 기능을 제공합니다. 또한 AMAT 0040-77771 은 에칭 챔버 (etching chamber) 에서 더 많은 이온화와 에치 가스 (etch gas) 에서 더 높은 이온 이동성으로 인해 기존 에칭 장비보다 높은 품질의 결과를 제공 할 수 있습니다. APPLIED MATERIALS 0040-77771 에처 (etcher) 는 오염으로부터 우수한 보호 기능을 제공하는 조정 가능한 진공실을 갖춘 신뢰성이 높은 구성 요소로 구성됩니다. 수냉식 (Water Cooling) 시스템이 내장되어 있어 장시에도 정확한 온도 조절과 신뢰성을 보장할 수 있습니다. 히터도 시스템에 통합되어 열적 (thermal) 그라디언트를 줄이는 데 도움이됩니다. 에처 (etcher) 는 또한 상세한 레시피 제어 시스템을 통해 운영자에게 나중에 사용할 수 있도록 프로세스 레시피를 저장, 리콜 및 편집 할 수있는 기능을 제공합니다. 이를 통해 다양한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 요구 사항에 대한 매개변수를 빠르고 쉽게 조정할 수 있으며, 지연 또는 낭비를 방지할 수 있습니다. 이 에처 (etcher) 는 타의 추종을 불허하는 정밀도 및 제어 기능과 다양한 기능을 제공하여 현대적인 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 기계에 크게 추가됩니다. 0040-77771 은 최신 반도체 제조 (semiconductor manufacturing) 의 최첨단 요구 사항을 충족하는 안정적이고, 빠르고, 품질이 뛰어난 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 현대식 공정 (Process Engineering) 연구소의 필수 요소로, 패턴이 최고의 품질로 옮겨지기를 원합니다.
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