판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIALS 0020-89006 #167778
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ID: 167778
Lower lamp gold reflector ring
Other Part #: AMP-357-002
Description: 12-Position Lower Reflector Ring
Position Count: 12 Positions
Finish: Gold Plated
Height: 2.50"
Inside Diameter: 11.00"
Position Hole Diameter: 1.25" to 1.625"
Total Weight: 6.45 lbs.
AMAT/APPLIED MATERIALS 0020-89006은 반도체 제조를위한 고급 에처/애셔입니다. 이 에처/애셔는 콜드 플라즈마 기술을 사용하여 박막 기판을 처리합니다. 이 장비는 반복 가능한 균일성으로 서브 미크론 정밀도로 박막 기판을 에치 앤 애셔 (etch and asher) 하는 평면 및 3D 패턴 기능을 특징으로합니다. 시스템의 구성 요소에는 로드 락이있는 에치 챔버, 로드 락이있는 애셔 챔버, 펌프 스테이션, 통합 필터/퍼지 용 챔버, 비활성 가스 공급 장치, 정밀 정렬 장치, 공압 모듈, 전원 공급 장치, ex-situ 진공 프라이밍 기계 및 진공 인터 록. 이 도구는 생산 수익률 향상, 기판 손상 감소, 더 큰 자산 처리량 및 활용도를 제공하도록 설계되었습니다. 이 모델은 최대 6 인치 웨이퍼를 처리 할 수 있으며, 여러 레시피와 레시피 당 250 단계의 프로세스 제어 모듈을 갖추고 있습니다. 유전체 에칭, CMP 표면 평면 화, 정전기 플라즈마 청소 및 조절, 스퍼터 에칭, 등각 코팅, 산화/질화 및 고온 어닐링에 국한되지 않는 여러 박막 에칭 및 기질 처리 프로세스를 지원하도록 설계되었습니다. 이 장비에는 웨이퍼 처킹 토크 및 제어, 냉각제 매니 폴드 압력 제어, 초점 심도 조절을위한 자동 초점 기능, 프로세스 조건 및 전원 수준 조정 기능, 중요한 프로세스 매개변수 모니터링을위한 현장 측정 기능, 오염 방지를위한 통합 클린 챔버 (clean-chamber). AMAT 0020-89006은 반복 가능한 균일성을 갖춘 높은 수준의 정밀도를 제공하는 업계 등급 etcher/asher 시스템입니다. 고급 (Advanced) 기능은 효율적인 처리 기능을 제공하며 운영 수량 실행을 위한 균일성과 정확성을 보장합니다. 정교한 장치는 박막 에칭 및 박막 처리를 위한 광범위한 기능을 제공합니다. 이 기계는 생산 반도체 제조 응용 분야에 적합한 솔루션입니다.
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