판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP #293618048
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'AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP는 반도체 및 메모리 산업에서 중요한 프로세스 응용 프로그램을 위해 설계된 고급형 에처/애셔입니다. 이 장비는 안정적이고 일관된 방식으로 하이엔드 성능을 제공할 수 있습니다. 시스템의 에칭/애싱 기능은 polysilicon, poly-SiGe, polycide 및 polyimide와 같은 다양한 재료에 적합합니다. AMAT Precision 5000 Mark II MXP 장치에는 최적화된 균일성과 처리량을 제공하는 특허받은 showerhead 프로세스 챔버가 장착되어 있습니다. 에칭/애싱 공정은 진공-초고밀도 (Vacuum-Ultra High Density) 가있는 ICPRB (집중 실린드형 플라즈마 원자로 바닥 공급) 공정 챔버를 사용합니다. 이 UHDP 챔버는 매우 안정적인 에칭/애싱 프로세스를 제공하도록 설계되었습니다. 에칭/애싱 프로세스에 대한 기계의 정밀 제어는 고해상도 패턴 인식 및 2도 자유 제어 시스템 (freedom control system) 에 의해 정확하게 결정 될 수 있습니다. 이 도구는 또한 프로세스 최적화의 유연성을 높이기 위해 여러 가스를 지원합니다. 이 에셋은 또한 고급 컨트롤러 (advanced controller) 와 소프트웨어 (software) 를 통해 프로세스 매개변수 및 하드웨어 설정을 효율적으로 세밀하게 제어할 수 있습니다. 사용이 편리한 소프트웨어 인터페이스를 통해 모델의 운영 및 모니터링을 단순화할 수 있습니다. APPLIED MATERIAL Precision 5000 Mark II MXP 장비에는 오염 제어 및 안전 기능이 장착되어 있어 결함을 줄이고 안전한 작업 환경을 보장합니다. 여기에는 폐쇄 회로 환기, 누수 감지 및 자동 청소 시스템이 포함됩니다. 또한, 온라인 프로세스 변수의 실시간 모니터링, 추세 분석, 데이터 수집 등을 제공합니다. Precision 5000 Mark II MXP 머신은 신뢰할 수 있는 고성능 에처/애셔 (etcher/asher) 로, 반도체 및 메모리 산업의 다양한 프로세스 애플리케이션에 적합합니다. 이 툴은 가장 까다로운 프로세스 환경에서 일관성 있고, 안정적이며, 하이엔드 성능을 제공할 수 있습니다. 자산의 고급 기능 (예: UHDP 챔버, 정밀 제어 시스템, 안전 기능) 은 최적의 프로세스 최적화, 결함 감소 및 안정적인 작동을 가능하게 합니다.
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