판매용 중고 AMAT / APPLIED MATERIAL P5000 #293656948

AMAT Applied Materials AMAT/APPLIED MATERIAL P5000 Asher/Etcher는 수많은 산업에서 다양한 고정밀 프로세스 응용 프로그램에 적합한 다용도 도구입니다. 이 장비는 탁월한 정확성과 안정성을 제공하며, 효율적인 처리량을 제공하여, 일관성 있고 고품질의 결과를 얻을 수 있습니다. AMAT P5000에는 3 개의 공정 챔버가 있습니다. 하나는 사전 청소용, 하나는 에치용, 하나는 포스트 클린용입니다. 각 프로세스 모듈에는 독립적인 압력 (Pressure) 및 온도 제어 (Temperature Control) 및 현장 및 현장 (ex-situ) 모니터링 기능이 장착되어 있어 사용자가 프로세스를 최적화할 수 있습니다. 챔버는 내장 칠러 및 정확한 열 PID 루프를 통해 온도를 제어합니다. 또한, 정상 상태 균일성 및 정확한 프로세스 최적화를 위해 고급 압력 제어 시스템 (Advanced Pressure Control System) 이 마련되어 있습니다. APPLIED MATERIAL P5000은 ECR (Electron Cyclotron Resonance) 에치, HDPE (high-density plasma etch), RIE (reactive ion etch), DPE (cryogenic deep plasma etch) 및 고급 수용체를위한 다단계 공정과 같은 광범위한 증착 기술을 사용할 수 있습니다. 또한, 이 장치는 다양한 에친트 가스 (etchant gase) 를 지원하므로 고급 논리 및 메모리 장치, 상호 연결, MEMS 장치 등의 어플리케이션에 적합합니다. P5000에는 다른 에치/애셔 시스템에서 눈에 띄는 몇 가지 고급 기능이 있습니다. 이 툴의 첨단 통합 자동화 기능 (Advanced Integrated Automation Capability) 은 설치 및 프로세스 레시피에 대한 사용자의 참여를 줄여, 대규모 운영 요구에 이상적인 솔루션입니다. 통합 연동 검증 시스템 (Integrated Interlock Verification Machine) 은 모든 중요한 공구 매개변수를 실시간으로 모니터링하고, 사용자가 안정적이고 반복 가능한 결과를 얻을 수 있도록 자세한 피드백을 제공합니다. AMAT/APPLIED MATERIAL P5000은 또한 고급 프로세스 모니터링 기능을 제공하여 정확한 프로세스 최적화를 보장합니다. 여기에는 내부 (in-situ) 및 현장 (ex-situ) 광학 관측과 레시피 중 중요한 프로세스 매개변수를 검증하기위한 내장 분광계가 포함됩니다. 또한, 이 도구는 모든 유형의 오버-에칭 (over-etching) 또는 언더-에칭 (under-etching) 으로부터 보호하는 실시간 전기 모니터링 자산을 통합합니다. 전반적으로 APPLIED MATERIAL/Applied Materials AMAT P5000 Asher/Etcher는 뛰어난 성능과 정확도가 필요한 프로세스 어플리케이션에 이상적인 선택입니다. 통합 자동화 (Integrated Automation) 및 프로세스 모니터링 (Process Monitoring) 기능과 같은 고급 기능을 통해 운영 프로세스에 이상적이며, 광범위한 증착/에칭 기술을 통해 매우 다양합니다. 이 모델은 운영 및 유지 보수가 용이하며, 생산 환경에서의 효과를 더욱 향상시킵니다.