판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR #9286872

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER GIR
ID: 9286872
Dry etcher.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR은 다양한 유형의 프로세스에서 에칭/애싱 및 기타 진공 처리 절차를위한 고로드, 프로세스 호환 etcher/asher입니다. 이 에처는 부하 용량이 높고 에칭/애싱 속도가 높으므로 작동하도록 설계되었습니다. ADIXEN GIR은 반도체 재료 및 고-k 유전체와 같은 박막 재료를 처리하는 데 사용될 수 있습니다. 박막 재료의 절단/제거에도 사용할 수 있습니다. 이 기계에는 프로세스 요구 사항에 따라 설정 및 사용될 수있는 온도 조절 에치/애쉬 챔버 (etch/ash chamber) 장비가 있습니다. 알카텔 지르 (ALCATEL GIR) 는 통합 모터로 구동되는 가변 각도 터보 펌프와 진공 챔버에 로터리 베인 펌프를 가지고 있습니다. 이를 통해 저온 및 고온 응용 모두에서 정확하고 정확한 에칭/애싱이 가능합니다. 지르 (GIR) 는 정확한 컴퓨터 제어 스테퍼 모터를 사용하여 에칭/애싱 속도를 정확하게 제어하고 반복 가능한 프로세스를 보장합니다. 이 시스템에는 진공 발진기가 포함되어 있으며, 에칭/애싱 정확도를 더욱 높입니다. 에칭/어싱 프로세스는 프런트엔드 프로그래밍 가능한 사용자 인터페이스로 제어됩니다. 이것은 장치 매개 변수를 제어하는 모든 기능을 갖춘 그래픽 사용자 인터페이스를 제공합니다. 이 사용자 인터페이스에는 에칭/어싱 (etching/ashing) 프로세스를 간단하고 직관적으로 설정하고 제어하는 직관적인 레이아웃이 있습니다. PFEIFFER GIR에는 프로세스 최적화 및 제어에 사용되는 인라인 모니터링 머신도 포함되어 있습니다. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER GIR는 고온과 다양한 부식 화학 물질을 견딜 수 있도록 만들어진 고급 열 및 화학 저항 물질로 구성됩니다. 에칭/애싱 챔버는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 제작되었으며 강력한 성능을 위해 설계되었습니다. 이렇게 하면 프로세스 품질이 결함이 없고 반복 가능해집니다. 전반적으로 ADIXEN GIR은 고로드 진공 공정 호환 etcher/asher입니다. 다양한 에칭/애싱 프로세스 및 재료를 처리하도록 설계되었으며 정확하고 정확한 에칭/애싱 (etching/ashing) 을 위해 정밀한 컴퓨터 제어 스테퍼 모터가 있습니다. ALCATEL GIR은 프로세스 품질이 결함이 없도록 강력한 재료로 구성됩니다. GIR 은 또한 사용자에게 친숙한, 직관적인 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 및 인라인 모니터링 툴을 제공하여 프로세스 최적화 및 제어를 보장합니다.
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