판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 601E #9232798

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 601E는 정밀 에칭 및 애싱 프로세스에 사용되는 최첨단 에처/애셔입니다. 이 다용도 머신은 높은 처리량과 고품질의 마이크로패브레이션을 위한 이상적인 선택입니다. 큰 챔버를 사용하면 601E (601E) 는 실리콘, 유리, 폴리머 기판을 포함한 다양한 기질뿐만 아니라 최대 8 "크기의 웨이퍼를 에칭할 수 있습니다. 601E는 3D Plasma Source, 통합 가스 처리 및 저압 차동 펌핑을 포함한 고급 에칭 및 애싱 기술을 갖추고 있습니다. 601E의 3D 플라즈마 소스 (3D Plasma Source) 는 전통적인 평판 디자인에 비해 밀도가 높고 균일 한 플라스마를 생산할 수 있습니다. 이 기술을 통해 프로세스 재생성을 높이고 에칭 속도를 높일 수 있습니다. 반면, 통합 가스 처리 시스템 (Gas Handling System) 은 프로세스 가스를 정확하게 제어하여 보다 균일 한 플라즈마 환경과 향상된 프로세스 반복성을 가능하게합니다. 601E는 또한 챔버-냉각 시스템 (chamber-cooling system) 을 갖추고 있으며, 이는 긴 공정 동안 공정 챔버의 온도를 감소시킵니다. 이를 통해 기판을 이상적인 온도로 유지하여 에칭 성능을 최적화하고 종점 탐지 (end-point detection) 를 정확하게 제어 할 수 있습니다. 또한, 저압 차동 펌핑 시스템은 긴 애싱 런 (ashing run) 동안 형성된 플라즈마 봉투를 유지하는 데 도움이됩니다. ADIXEN AMS 601E는 최고 수준의 에칭 및 애싱 정밀도를 위해 설계되었습니다. 첨단 기술, 견고한 디자인, 안정적인 성능을 갖춘 601E는 모든 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.