판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9270002

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 대용량 어플리케이션에서 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 산업 등급 에처/애셔입니다. 일괄 처리 (Batch Process) 및 연속 프로세스 (Continuous Process) 를 포함하여 다양한 에칭 및 애싱 요구 사항을 충족하도록 구성됩니다. 고주파 "마이크로 '파 발전기 가" 시스템' 에 힘 을 주어 "챔버 '의 여러 난방 구역 에 대한 정확 한 온도 조절 을 한다. 이렇게 하면 웨이퍼 또는 기판 전체에서 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 프로세스가 균일하게 처리되도록 합니다. ADIXEN AMS 200은 시간과 에너지를 모두 최적화하도록 설계되었습니다. 자동 및 수동 두 가지 에칭 및 애싱 모드를 제공합니다. 자동 (Automatic) 모드를 사용하면 프로세스에 필요한 매개변수를 지정하고 이전 프로세스 사이클 (process cycle) 의 결과에 따라 프로세스 조건을 자동으로 조정할 수 있습니다. 수동 (Manual) 모드에서 사용자는 프로세스 조건과 간격을 수동으로 제어할 수 있으므로 프로세스 조건을 쉽게 조정할 수 있습니다. 알카텔 AMS 200 (ALCATEL AMS 200) 은 프로세스 결과를 언제든지 파악할 수 있도록 실시간 디스플레이를 제공하여 과잉 처리 또는 과잉 처리 위험을 최소화합니다. AMS 200은 장기적인 안정성과 향상된 안전 기능을 위한 강력한 설계를 제공합니다. 이 방은 외부 스테인레스 스틸 케이싱 (stainless steel casing) 을 갖춘 내부 상승 세라믹 플랫폼으로 구성되어 있으며, 암자 밀봉과 뛰어난 열 성능을 제공합니다. 그것은 광범위한 공정 화학 물질을 처리하고 부식에 저항하도록 설계되었습니다. 이 시스템은 안전성을 염두에 두고 설계되었으며, 안전 센서와 안전 인터 록 (Safety Interlock) 을 내장하여 안전한 운영 환경을 보장합니다. 특정 응용 프로그램에 맞게 여러 옵션 액세서리를 사용하여 PFEIFFER AMS 200을 구성 할 수 있습니다. 여기에는 RF 차폐 라이너, 반응성 가스 처리를 가능하게하는 버블러, 미립자 축적을 방지하기위한 플러싱 시스템이 포함됩니다. 전반적으로 ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 대용량 프로세스에서 안정적이고 일관된 성능을 제공하도록 설계된 산업 수준의 etcher/asher입니다. 이 제품은 챔버의 여러 가열 영역 (heating zone) 에서 정확한 온도 제어를 활용하며, 자동 (automatic) 모드와 수동 (manual) 모드를 모두 제공하여 자원 활용도를 최적화합니다. ADIXEN AMS 200은 또한 강력한 구성 및 향상된 안전 기능을 제공하여 작동 안전을 보장합니다.