판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9269458

ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200
ID: 9269458
웨이퍼 크기: 6"
Etchers, 6".
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 RIE (Reactive ion etching) 와 같은 재료 처리 응용 프로그램을 위해 특별히 설계된 고급 통합 에칭/애셔 기술입니다. 단일 플랫폼에서 3 가지 에칭 (etching) 기술을 선택할 수 있는 유연한 장비입니다. 이러한 유연성과 고급 성능은 ADIXEN AMS 200을 PAE (plasma-assisted etching), CMP (chemical mechanical polishing) 및 리소그래피와 같은 고급 프로세스에 이상적인 선택으로 만듭니다. 이 시스템의 주요 특징 중 하나는 통합 설계로, 사용자는 챔버 (chamber), 발전기 (generator) 및 전원 공급 장치에 동시에 액세스할 수 있습니다. 이 장치는 낮은 전력 소비량과 최소한의 유지 관리를 제공합니다. 자동 처리를 허용하는 컴퓨터 제어 운영 체제가 있습니다. 이 도구는 또한 금속, 산화물, 질화물 및 플라스틱과 같은 다양한 재료를 지원합니다. 알카텔 AMS 200 (ALCATEL AMS 200) 은 표준 및 생산 모듈 모두에서 다양한 재료를 처리 할 수 있으며, 균일 한 에칭 및 프로세싱을위한 고급 서보 기반 자산을 갖추고 있습니다. 이 모델은 단일 플랫폼에서 고해상도 스캐닝 (Scanning) 및 증착 (Deposition) 기능을 제공하는 반면, 통합 제어 장비는 사용자가 자동화 및 반복성을 위해 프로세스 매개변수를 신속하게 설정할 수 있습니다. 이 시스템은 또한 기존 에칭 프로세스보다 짧은 프로세스 시간 동안 최적화되었습니다. 이 장치는 내장 가스 및 액체 매니 폴드를 통해 우수한 프로세스 제어를 제공합니다. 이를 통해 사용자는 화학 증기 증착 (CVD), 이온 밀링, 레이저 제거, 전기 화학 식각 등 다양한 프로세스에 대한 가스 압력, 유량 및 에치 매개 변수를 정확하게 설정할 수 있습니다. PFEIFFER AMS 200에는 임페디먼트 매칭, PFM (pulse frequency modulation), PWM (pulse-width modulation) 및 펄스 도핑 앰프가 최적화 된 고급 RF 생성기가 통합되어 있습니다. 이것은 에칭 프로세스에 대한 더 큰 제어와 정밀도를 제공합니다. 이 기계에는 열 안정성 향상, 고품질 가스 입력 자산 (gas inlet asset) 에 이르기까지 다양한 기능이 내장되어 있습니다. 따라서 사용자는 에칭 및 화질을 안전하게 유지할 수 있습니다. 전반적으로, AMS 200 (AMS 200) 은 다양한 재료 처리 어플리케이션을 위해 특별히 설계된 통합, 유연한 모델에서 강력한 에칭 기능을 제공합니다. 저전력 소비량과 사용이 간편한 컨트롤 (control) 을 결합함으로써, 이 장비는 정밀 에칭 및 이미지 처리에 이상적인 솔루션입니다.
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