판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9232795

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 고급 웨이퍼 처리 환경의 요구를 충족하도록 설계된 고정밀 에칭/애싱 시스템입니다. 장수 트리오드 플라즈마 전자 소스를 특징으로하며, 시스템에서 제어 에칭, 어닐링 및 기타 처리 기능을 수행 할 수 있습니다. 프로세스 제어는 매우 정확하여 매우 미세한 패턴화와 뛰어난 반복성을 제공합니다. 소스는 다양한 확률에 따라 조정되어 원하는 결과를 얻을 수 있습니다. 기계의 구성은 강력하고 간단합니다. 주로 제어 도어 (Control Door), 플라즈마 소스 (Plasma Source) 및 관련 전원 공급 장치 및 제어 시스템이있는 진공 챔버로 구성됩니다. 플라즈마 소스에는 조정 가능한 셔터 메커니즘이 있으며, 이는 전체 웨이퍼에서 일관되고 균일 한 에칭/애싱 (etching/ashing) 과정을 보장합니다. 공기 와 질소 "가스 '는 열 복사 도 없이, 손상 도 없이 각" 웨이퍼' 에 적용 된다. 에칭/애싱 (etching/ashing) 프로세스는 주어진 응용 프로그램에 맞게 조정할 수 있으며 웨이퍼 간에 설정이 쉽게 변환됩니다. 복잡한 패턴으로도 전체 웨이퍼를 통해 매우 정확하고 반복 가능한 처리 속도를 유지합니다. ADIXEN AMS 200은 대체 시스템에 비해 작동 온도가 낮기 때문에 더 오래 실행할 수 있습니다. 또한 ALCATEL AMS 200에는 수많은 안전 메커니즘이 있습니다. 질소 가스 조절 및 소스, 진공 압력 및 내부 온도를 모니터링하는 센서 스위트 (sensor suite) 가 있습니다. 알림은 사용자에게 전송되며, 이러한 하위 시스템 중 하나가 안전한 운영 매개변수를 초과해야 합니다. 또한 문제가 발생할 경우 기계에 긴급 차단 (Emergency Shut-off) 옵션이 있습니다. PFEIFFER AMS 200은 다양한 시스템으로, 안전성과 정확성을 보장하면서 다양한 웨이퍼 (wafer) 처리 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 고정밀도 에칭/애싱 (eching/ashing) 기능과 고밀도 패턴화 기능이 필요한 환경에 이상적인 솔루션입니다.