판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229763
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 샘플의 정확한 에칭 및 재시를 위해 설계된 고성능 에처/애셔 기기입니다. 하나의 통합 하중 잠금 챔버 (load-lock chamber) 와 2 개의 반응 챔버 (reaction chamber) 가 장착되어 병렬로 2 개의 다른 처리 주기를 허용합니다. 기기의 온도 범위는 300 ~ 700 ° C, 압력 범위는 10-2 ~ 100 mbar 및 가스 유량은 5 ~ 150 ml/min입니다. ADIXEN AMS 200은 RIE (reactive ion etching), 드라이 에칭 및 습식 에칭을 포함한 다양한 화학 물질로 에칭할 수 있습니다. 또한이 장비는 직접 플라즈마 및 TIA (Thermal Immersion Ashing) 를 포함하여 몇 가지 애싱 옵션을 제공합니다. ALCATEL AMS 200의 주요 장점은 정확한 제어력과 높은 정확도입니다. 기기는 에칭 및 애싱 프로세스 모두에 대해 정확한 온도 및 압력 제어를 갖습니다. 또한 일관된 결과를 보장하기 위해 정확한 가스 흐름 측정 및 폐쇄 루프 제어를 갖습니다. 또한, 통합 로드 락 챔버 (load-lock chamber) 는 처리 중 정확한 샘플 처리 및 빠른 샘플 교환을 허용합니다. 운영자의 안전을 위해 AMS 200에는 온보드 오버 압력 보호 시스템 (Integrated over Pressure Protection System) 이 장착되어 있습니다. 이 "시스템 '은 공정 이 시작 될 때, 압력 이" 한계' 를 초과 할 때 자동적 으로 기구 를 꺼버린다. 이것은 인원과 샘플의 안전을 보장합니다. 결론적으로, PFEIFFER AMS 200은 샘플의 정확한 에칭 및 재싱을 위해 설계된 고성능 etcher/asher 악기입니다. 이 기구 는 정확 한 제어 와 높은 정확도 로, 안전 하고, 안정적 이고, 효율적 인 방법 으로 표본 을 처리 한다. 정확한 에칭 (etching) 과 애싱 (ashing) 이 필요한 모든 응용 프로그램에 이상적인 선택입니다.
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