판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229762
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 etcher/asher는 수동 및 자동 버전 모두에서 사용할 수있는 고정밀 반도체 프로세스 도구입니다. 에칭, 청소 및 박막 코팅 응용 분야에 사용됩니다. ADIXEN AMS 200의 반복 가능성은 5 ° m 미만이며, 고밀도 패키징, 리소그래피 및 인쇄 가능한 전자 제품과 같은 다단계 프로세스에 이상적입니다. 이 기계는 사용 및 유지 보수가 용이하며, 기존 시스템에 통합될 수 있습니다. ALCATEL AMS 200의 에칭 프로세스는 독특하며 보조 장치를 갖춘 양방향 회전 챔버 설계를 제공합니다. 이 설계를 통해 샘플 서피스를 완벽하게 적용하여 다른 기존 모델보다 빠른 에칭 시간 (etching time) 을 제공합니다. 또한 조절 가능한 틸트 챔버 (tilt chamber) 가 있으며, 이를 통해 특정 범위 내에서 샘플을 여러 각도로 에칭할 수 있습니다. 이 기능은 마스킹, 선택적 에칭 (etching) 과 같은 현대의 많은 에칭 프로세스에 유용합니다. PFEIFFER AMS 200은 또한 트리플 코팅 메커니즘 덕분에 고정밀 청소 기능을 제공합니다. 각 응용 프로그램에 대한 사용자 정의 클리닝 프로세스를 제공하기 위해 여러 개의 헤드를 가진 회전-스프레이 (rotating-spray) 시스템이 있습니다. 이 기계에는 또한 여러 개의 용매 탱크 (solvent tank) 가 있으며, 많은 응용 프로그램에 필요한 여러 세척/린스주기를 허용합니다. 이 기계는 자동 종료 (automatic shutdown) 를 위한 조정 가능한 타이머와 온도 조절 장치 (thermostat) 를 가지고 있으므로 청소가 완료되기 전에 모든 올바른 단계를 수행해야 합니다. 박막 코팅에 사용될 때, AMS 200은 자동 웨이퍼 카세트 (wafer cassette) 전송 메커니즘을 가지고 있으며, 이를 통해 여러 웨이퍼를 한 번의 작업으로 처리하여 대용량 생산에 이상적입니다. 기계는 또한 정확한 코팅 두께 측정을 위해 조정 가능한 진공 압력 센서를 가지고 있습니다. 또한 다른 도구 (예: 마스크 정렬기) 와 통합하여 복잡한 패턴을 만들 수도 있습니다. 전반적으로 ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 강력하고 신뢰할 수있는 etcher/asher로 에칭, 청소 및 박막 코팅 응용 프로그램에서 정확한 결과를 제공합니다. 양방향 회전 챔버 (two-way rotating chamber) 디자인과 조절 가능한 틸트 챔버 (tilt chamber) 를 사용하여 많은 작업에 사용하기 쉽고 사용자 정의할 수 있습니다. 또한 여러 개의 용매 탱크, 자동 종료 및 웨이퍼 카세트 전송 시스템이 있습니다. 이 툴은 반도체 업계의 다양한 응용프로그램을 위한 완벽한 선택입니다.
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