판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9229761
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ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200은 박막 응용 프로그램을위한 고도의 고정밀 에처/어셈블러입니다. 이 에처는 박막 마이크로 구조의 연구 및 산업 생산을 위해 설계되었습니다. 그것 은 "나노미터 '수치 (0.1" 나노미터') 에 정밀 하여 구리 와 금 과 같은 여러 가지 얇은 안경 과 금속 을 식각 할 수 있다. 이 장비는 에칭 (etching) 및 어셈블리 프로세스 모두에 대해 매우 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. 이 시스템에는 에칭 및 조립 단계 동안 작은 부품을 조작하기위한 최대 공정 면적 200 x 200 mm ² (평방 밀리미터) 를 커버하는 다중 축 마이크로 포지셔닝 (multi-axis micropositioning) 및 진공 모듈이 있습니다. 다중 축 마이크로 포지셔닝 모듈은 etcher에서 최고 수준의 정밀 제어를 제공합니다. 0.1 나노 미터만큼 작은 패턴을 정확하게 에칭할 수 있습니다. 이 장치에는 고속 증착, 향상된 해상도, 고출력 (high-power output) 과 함께 뛰어난 처리량을 제공하는 2 개의 최고 전자빔 소스가 포함되어 있습니다. 또한, 이 기계는 예금 된 필름 (film) 의 증가율과 예금 필름의 구성에 대한 실시간 정보를 제공하는 통합 디지털 데이터 처리 도구 (integrated digital data processing tool) 를 갖추고 있습니다. ADIXEN AMS 200 etcher/assembler는 또한 박막 웨이퍼 표면에 재료를 적용 할 수있는 균일 한 온도 및 습도 조절 환경을 제공하기 위해 고성능, 저진동 및 부식 내성 챔버를 포함합니다. 이 챔버는 또한 균일 한 에치 결과를 보장합니다. 이 자산은 또한 컴퓨터 제어 웨이퍼 처리의 최신 발전을 통해 효율성, 내구성 및 정확성을 극대화합니다. 이러한 기능에는 웨이퍼 캐리어를 빠르고 정확하게 변경하기위한 자동 웨이퍼 교환 메커니즘 (Automatic Wafer Exchange Mechanism) 과 에칭 및 어셈블리 프로세스의 손쉬운 작동 및 최적화를 위한 사용자 친화적 소프트웨어 패키지 (User-Friendly Software Package) 가 포함됩니다. 전반적으로 ALCATEL AMS 200은 고품질 박막 마이크로 구조를 생성 할 수있는 고급적이고 정밀한 에처/어셈블러입니다. 이 모델은 인상적인 속도, 높은 반복성, 정확성, 다양한 환경에서 다양한 응용 프로그램 (다목적) 으로 인해 연구 및 산업 응용 분야에 이상적입니다.
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