판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 #9173294

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ID: 9173294
I- Speeder ESC with N2 liquid cooling SiO2 thin film etching, SiN, Si-DRIE, Pt sputter etching Manual load No atmospheric robot.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 etcher/asher는 기판에 에치 또는 재를 만드는 데 사용되는 정밀 도구입니다. ADIXEN AMS 200은 사전 정렬 및 에지 배치, 에칭 및 애싱 기술을 결합한 완전 자동화 시스템입니다. 이 제품은 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 을 위한 완벽하게 통합된 솔루션으로, 탁월한 정확성과 반복성을 제공합니다. ALCATEL AMS 200에는 500 와트 생성기와 25 ~ 60mm 기판 배치 정확도를 생성 할 수있는 70mm 기판 헤드가 장착되어 있습니다. 기판 헤드 (Substrate Head) 는 정확한 기판 배치 및 정렬을 보장하는 정밀 컨트롤러 인 Sigma 5 PiezoMotor에 의해 구동됩니다. 이를 통해 다양한 기판에 걸친 정확성과 일관성을 철저히 유지할 수 있습니다 (영문). PFEIFFER AMS 200에는 각 기판을 미리 결정되거나 프로그래밍된 시작점에 정렬하는 자동 사전 정렬 기능이 있습니다. 또한, 사전 정렬 (pre-align) 소프트웨어는 기판 헤드를 정의된 타이트한 간격 (일반적으로 0.6mm 이내) 에 배치합니다. AMS 200은 또한 에칭 또는 재싱을위한 매우 균일 한 가우스 빔 프로파일을 제공하는 고정밀 600 와트 포커스 렌즈 (600 Watt Focus Lens) 를 갖추고 있습니다. "렌즈 '는 또한 여러 가지 기판 크기 와 재료 에 맞도록 다양 한 초점 길이 를 허용 한다. 또한, "렌즈 '의 수직 높이 와 각도 를 기판 의 높이 에 맞도록 조정 할 수 있다. ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200에는 기판 손상을 줄이고 빠른 처리 시간을 허용하는 다양한 다른 기능도 포함되어 있습니다. 기계는 반자동 모드로 실행됩니다. 즉, 조작자는 애싱 (ashing) 또는 에칭 (etching) 주기 동안 에처와 함께 작동 할 수 있습니다. 또한, 기판 헤드에 단열 차폐가 포함되어 온도 변동을 줄이고 처리 중 잠재적 손상을 줄입니다. 요약하면, ADIXEN AMS 200 (ADIXEN AMS 200) 은 다양한 표면에 에칭 또는 재싱하기 위해 안정적이고 정확한 시스템을 제공합니다. 사전 정렬 및 에지 배치, 에칭 및 애싱 기술, 고정밀 Focus Lens 및 기타 기능을 결합합니다. 이를 통해 ALCATEL AMS 200은 정밀 에칭 또는 애싱 응용 프로그램을위한 강력한 선택입니다.
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