판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER AMS 200 SE #9296962

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER AMS 200 SE는 반도체 산업의 고급 에처/애셔입니다. 광범위한 프로세스 영역의 드라이 에칭 (dry etching) 애플리케이션을 위한 통합된 경제적인 솔루션을 제공합니다. ADIXEN AMS 200 SE etcher/asher에는 완전히 프로그래밍 가능한 HPC (Horizontal Process Chamber) 및 LWST (Lateral Wafer Sets Transfer) 가 장착되어 있습니다. HPC는 에칭, 애싱, 프리에칭 및 이온 임플란테이션을 포함한 다양한 프로세스 솔루션을 제공하도록 설계되었습니다. 약실은 또한 전도성 및 부식 물질에 대한 보호를 제공합니다. LWST는 프로세스 챔버 사이에 기판과 웨이퍼의 정확하고, 반복 가능한, 저압 전달을 제공합니다. 또한 ALCATEL AMS 200 SE는 레시피의 유연성, 가변 온도, 가스 흐름 속도, 과압 제어 기술, 고급 안전 기능 등 다양한 프로세스 제어 기능을 제공합니다. 에처/애셔 (etcher/asher) 에는 또한 RF 플라즈마 소스가 장착되어 있으며, 에칭 또는 애싱 과정에서 기질에 걸쳐 반복되고 균일 한 플라즈마를 제공 할 수있다. 플라즈마의 균일성은 뛰어난 프로세스 제어 및 정확성을 제공합니다. 또한 PFEIFFER AMS 200 SE에는 배기 가스 배출량 관리를위한 전용 감축 시스템이 있습니다. 이 시스템은 가장 순수한 공정 가스 (process gas) 출력을 제공하기위한 일련의 여과 단계를 기반으로합니다. AMS 200 SE는 반도체, 전자, 의료, 자동차 등 여러 산업에서 기판을 에칭 및 애싱 할 수 있도록 빠르고 안정적이며 반복 가능한 대안을 제공합니다. 고급 안전 기능은 사용자를 보호하고, 프로세스 반복성과 품질을 보장하며, 비용 효율을 극대화합니다.