판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 602 #293608208

ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602 etcher/asher는 민감한 기질의 정확한 에칭 및 재싱을위한 매우 정확하고 신뢰할 수있는 도구입니다. 이 장치는 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 을 위한 탁월한 성능을 제공하며, 최대 4.5cm 두께의 기판을 처리하고 정확한 속도 제어 시스템을 제공하여 정확한 에칭 및 애싱 (ashing) 을 보장합니다. ADIXEN 602 (ADIXEN 602) 는 또한 전체 기판 처리 영역에서 고온 균일성을 갖추고 있으며, 기판 에칭 및 재싱에 효과적인 도구입니다. 방호 안전 (Protective Safety) 기능도 갖추고 있어 사용 중 기판의 불필요한 손상을 방지하고, 에칭 (etching) 또는 애싱 (ashing) 시 완벽한 제어 및 안정적인 성능을 제공합니다. ALCATEL 602는 드라이 에칭 (dry etching) 및 드라이 애싱 (dry ashing) 과 같은 공정에 사용될 수 있으며, 샘플 준비 및 박막 증착과 같은 공정에서 더 정밀하게 사용될 수 있습니다. 또한, "에치 '를 제어 하고 일관성 있는" 에칭' 을 달성 하기 위하여 정밀 한 온도 조절 을 하고, 기판 형태 와 크기 가 융통성 을 갖게 한다. 또한, 602는 반복 가능한 결과를 보장하기 위해 질량 흐름 (mass flow) 또는 압력 제어 (pressure control) 를 갖춘 통합 질량 흐름 컨트롤러와 추가 정밀도를 위해 조절 가능한 압력 밸브를 제공합니다. 또한 에칭 프로세스 모니터링을위한 쿼츠 에칭 창 (Quartz Etching Window) 과 프로그래밍 가능한 PC 기반 제어 시스템을 갖추고 있어 간단하고 효율적인 작동이 가능합니다. PFEIFFER 602 etcher/asher는 강력한 스테인리스 스틸 구조를 특징으로하여 부식과 충격에 강합니다. 또한 UL, CE 및 CSA에 대해 테스트, 인증된 모든 내부 구성요소 및 안전 (Safety) 기능을 통해 안전한 운영을 위해 설계되었습니다. 또한, ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 602는 손쉬운 유지 관리를 위해 설계되었으며, 필요한 경우 이동식 액세스 패널 및 이동식 구성 요소를 사용하여 청소할 수 있습니다. 또한 에칭 (etching) 및 애싱 (ashing) 프로세스를 완벽하게 지원하는 진공 시스템 (vacuum system) 이 장착되어 있으며, 완벽한 무상수리 서비스가 지원되어 안정적인 사용 및 성능을 보장합니다.