판매용 중고 ALCATEL / ADIXEN / PFEIFFER 601E I-Speeder #165552
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판매
ID: 165552
웨이퍼 크기: 6"
빈티지: 2001
Silicon etcher, 6"
Wafer size: 6", converted from 4"
Semco ESC
Genmark 4 robot with wafer aligner
4” single wafer vacuum loadlock assembly
Chuck table with controlled-temperature from –30°C~ +60°C
Substrate holder: 4” wafer electrostatic clamping system with center kit
Low-pressure plasma source with laser view port adaptor on top of the source
System control and monitoring with PLC & PC, Windows NT & Alcatel GUI
UPS power for PLC control
Operates the machine in manual, semi-automatic, or fully-automatic modes
Chamber primary pump: ADP122
Cold trap with heated pump line
Maglev turbomolecular pump: ATH 1300M
DN 200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + By-pass + line with controller
Loadlock dry pump ACP28
Loadlock molecular pump MDP 5011
Lauda Chiller RK8CP
Power transformer: input AC200-220V, output AC400V
Baratron 100Pa
Source power supply: 2kW RF with RF20S generator controller
Bias power supply: 500W with RF5S generator controller
Robot loading version
User’s manual on CD ROM and PC HD
Electrical schematics on cleanroom paper
Telediagnostic (modem+software)
Process Module:
Room (Bosch) temperature process. (including Bosch patent)
Substrate holder electrostatic clamping system
Wafer centering kit 100mm
Source: 2kW RF
Bias: 0.5kW RF
Heated process chamber walls
Laser view port adapter on top of the source
Reactor Pumping:
Alcatel ADP 122
Maglev turbomolecular pump ATH 1300M
DN200 heated throttle & isolation valve VAT series 64 + by-pass
Completed pumping line is heated, while a coldtrap is installed before the dry pump
Gas lines:
4 UNIT mfc’s, type 1 gas lines, installed in the main frame of the A601E
SF6-500 sccm, C4F8 – 200400 sccm, O2 –20 sccm, O2-200 sccm
oad/Unload Module:
Robot loading
Optical fiber for wafer localization
Ferrofluidics feedthrough on transfer arm
Molecular drag pump MDP 5011
Mechanical pump needed
Control Module:
PLC & PC
Windows NT & Alcatel GUI
Telediagnostic(modem & software)
Substrate holder:
Electrostatic clamping system version
Additional spare electrostatic ceramic (4”): yes, but used
Pumping station:
ADP122 and ACP28 dry pumps pack for process chamber and loadlock
Gas lines:
Gas cabinet for 6 gas lines
Different UNIT MFC’s flow range/standard
Transfer module and loadlock
GENMARK cassette loading robot
Flat finder/aligner
Documentation:
Hard copy of the user manual
Documentation set on cleanroom paper
CD-ROM with User manual
Normal Paper: manuals of all sub-units
Cleanroom Paper: Electrical diagrams
Additional Parts:
Cryo kit for Bosch and Cryo process
Electrostatic Chuck 6” wafer size kit for manual or robot loading version
Tool has been mainly used for R&D purposes
Modifications:
RK8CP chiller
Upgrade of Maglev ATH 1300 to ATH 1600 turbomolecular pump
Upgrade of ACP20 to ACP28 dry pump
51 foot pump cable
Light tower
Upgrade of 2 kW RFPP generator to ENI 3 kW RF generator
UNIT MFC: SF6 / 1000 sccm UFC 180
SECS II protocol
Software upgrade (PC and pLC)
2001 vintage.
ALCATEL/ADIXEN/PFEIFFER 601E I-Speeder는 반도체 및 마이크로 전자 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 에처 및 애셔입니다. 이 장비는 성능 및 최적의 처리량을 제공하도록 설계되었으며, 이 프로세스에는 에칭 (etching), 접착 (adhesion), 청소 (cleaning) 및 제거 (removing) 기능이 포함되어 있습니다. I-Speeder에는 신뢰할 수있는 듀얼 빔 (dual-beam) 시스템이 장착되어 전체 가공소재에 걸쳐 정확한 정확성과 균일성을 제공합니다. 여러 프로세스를 수용할 수 있는 유체 저항성 (fluid resistivity) 과 유연성 (flexibility) 은 대부분의 반도체 요구 사항을 충족하는 다용도 도구입니다. I-Speeder는 고급 진공 기술의 특수 단위를 사용하여 우수한 Etch 속도, 낮은 입자 수 및 감소 된 산화물 오염을 달성합니다. 이 장치에는 이중 사이클 컨트롤러 (Dual Cycle Controller) 가 있어 프로세스 매개변수를 정확하게 조정할 수 있습니다. 독특한 Combined Plasmer-Cone Machine 및 특허를받은 세라믹 필드 코일은 가공소재를 보호하면서 우수한 에칭 결과를 보장합니다. I-Speeder 는 총 8 개의 사전 설치된 자동 프로세스를 갖추고 있으며, 일관된 결과를 제공하고 운영자 교육 및 설치 시간을 단축합니다. 이 강력한 장치는 추가 하드웨어 없이 타사 하드웨어/소프트웨어를 설치할 수 있도록 설계되었습니다. 또한 세부 프로세스 매개변수를 자동으로 기록하여 에치 (etch) 프로세스를 쉽게 추적할 수 있습니다. I-Speeder (I-Speeder) 는 다양한 기능과 장점을 갖춘 포괄적인 에처 (etcher) 및 애셔 (asher) 솔루션입니다. 강력하고, 효율적이며, 신뢰할 수 있는 프로세스를 제공하여, 탁월한 미세 구성성과 뛰어난 제어를 제공합니다. 이 다기능 도구는 대부분의 반도체 에칭 요구 사항에 적합하며, 2.5m (2.5m) 이하의 기능 크기와 더 빠른 처리 속도를 제공하는 탁월한 성능을 제공합니다. 또한, 이 장치는 ADIXEN 및 ALCATEL의 지원을 받아 뛰어난 고객 서비스와 기술 지원을 제공합니다.
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