판매용 중고 ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000 #9299602

고급 모듈식 시스템 AMS 2000 (ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000) 은 다양한 어플리케이션에서 최고의 시스템 유연성과 성능을 제공하도록 설계된 고급 모듈식 etcher 및 asher 장비입니다. 이 장치는 에칭, 애싱, 필름 노출 및 기타 응용 프로그램에 대한 고정밀, 모듈식, 다중 프로세스 지원을 제공합니다. AMS 2000 의 모듈식 설계는 최적화되고, 효율적이며, 구성할 수 있는 머신을 제공하며, 필요에 따라 쉽게 공구의 기능을 확장할 수 있습니다. 에셋에는 표준 듀얼 레인 (dual-lane), 다중 모드 에처 (multi-mode etcher) 및 모듈러베이스 유닛 (modular base unit) 과 모델의 용량을 최대 408 웨이퍼까지 늘리는 확장 챔버 (옵션) 가 포함됩니다. 고정밀도 에처 (etcher) 모듈은 매우 정밀하고 결함이 낮은 박막 (thin film) 을 정확하게 에칭하여 사용자가 반복성과 정확성을 달성하고 유지할 수 있도록 합니다. Etcher 모듈은 프로세스 중단을 최소화하고 중요한 구성 요소의 수명을 연장하기 위한 사전 예방적 (Predictive) 유지 보수 및 사전 예방적 유지 보수 기능을 제공합니다. 고급 모듈식 애셔 (Modular Asher) 모듈은 탁월한 프로세스 정확성과 반복성을 제공하며, 최신 기술을 활용하여 사후 구성 웨이퍼를 에치 (Etch) 하고 청소합니다. 챔버 (Chamber) 는 웨이퍼의 도달 어려운 영역을 정확하게 에칭 및 청소하기 위해 가스 분사 튜브를 갖춘 이중 노즐 디자인을 갖추고 있습니다. 애셔 (asher) 는 프로세스 진단 (process diagnostics) 기능을 제공하여 사용자가 에칭 프로세스를 모니터링하고 분석하여 프로세스 매개변수와 요구 사항을 충족할 수 있도록 합니다. 옵션 필름 노출 모듈은 광원 기술을 사용하여 다양한 크기의 양성, 음수, 임계 필름을 정확하고 정확하게 노출시킵니다. 노출 모듈은 처리량을 높이고, 정확성과 반복성을 보장하도록 설계되었습니다. ADVANCED MODULAR SYSTEMS AMS 2000에서 지원하는 최대 웨이퍼 크기는 8 인치이며, 인터페이스 및 제어 장비는 Windows 운영 체제를 사용하여 직관적이고 사용자에게 친숙한 작업을 수행합니다. 이 장치는 듀얼 레인 (Dual-Lane) 프로세싱을 활용하여 처리량을 극대화하고 주기 시간을 단축하여 생산성 및 품질을 극대화합니다. 모듈식 디자인과 고급 기능을 갖춘 AMS 2000 etcher/asher는 다양한 반도체 제작 어플리케이션에 이상적인 솔루션입니다.