판매용 중고 SOPRA GESP-5 #293793402

제조사
SOPRA
모델
GESP-5
ID: 293793402
웨이퍼 크기: 8"
빈티지: 2001
Ellipsometer, 8" Option: UV-VIS-NIR Gonio bench Monochromator AC Transformer HP Optiplex 3020 PC Operating system: Windows 7 HP Deskjet 9070 Printer EUROSEP DC Power supply: 75 to 300 2001 vintage.
SOPRA GESP-5는 타원계로, 박막 재료 두께를 측정하고 표면의 광학 특성화를 위해 설계되었습니다. 프랑스의 SOPRA Mesure에서 제조 한 고정밀 기기입니다. 표면에서 반사되거나 전달되는 빛의 편광 상태의 변화를 측정하여 재료의 유전체 매개변수 (예: 두께 (thickness), 굴절률 (refractive index)) 를 결정합니다. 일반적으로 다양한 증착율 (deposition rate) 에 걸쳐 박막 증가 또는 에칭 프로세스를 모니터링하는 데 사용됩니다. GESP-5는 단일 칩 CMOS 검출기와 최첨단 광학 시스템을 갖추고 있으며, 하위 Angstrom 및 나노 미터 정확도를 제공합니다. 여기에는 디지털 잠금 증폭기 (Lock-in Amplifier) 와 고급 나선형 스캐닝 (Spiral Scanning) 기술이 포함되어 있어 정확도가 높은 매우 얇은 레이어를 측정할 수 있습니다. 이 시스템은 단일 레이어 (single layer) 또는 최대 20개의 레이어 스택 (stack) 을 측정할 수 있는 높은 정확도 데이터를 제공할 수 있습니다. 이 시스템에는 4 "조정 가능한 샘플 홀더가 장착되어 있으며, 대부분의 표준 웨이퍼 캐리어와 호환되도록 설계되었습니다. 다양한 압력 및 온도 하에서 표면의 elctro-optical 분석을 위해 UHV 전송 시스템을 사용하여 구성 할 수 있습니다. SOPRA GESP-5는 자동화 된 소프트웨어 제품군과 통합되어 수평/수직 편광비, 절대 필름 두께, 굴절률, 유전율 기능을 모니터링할 수 있는 정확하고 반복 가능한 타원법 측정을 제공합니다. 또한 위상 이동, 방위각 평균 및 혼합 측정 모드 (반사율-투과율) 와 같은 여러 데이터 분석 기능이 포함되어 있습니다. 이 기기는 유연하고 사용하기 쉽도록 설계되었습니다. 태양 전지, 광학 코팅, 반도체, 유기 재료 및 기타 박막 연구와 같은 다양한 응용 분야에 사용할 수 있습니다. 내구성이 뛰어난 구조는 유지 관리 요구가 적은 안정적인 운영을 보장합니다.
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