판매용 중고 RUDOLPH S3000S #9304275

제조사
RUDOLPH
모델
S3000S
ID: 9304275
Film thickness measurement system, 12" 2011 vintage.
RUDOLPH S3000S Ellipsometer는 박막 재료 및 표면의 광학 특성을 측정하는 데 사용되는 광학 기기입니다. 근적외선 레이저 빔 (near-infrared laser beam) 을 사용하는데, 이는 샘플 표면을 통해 재료와 정확하게 상호 작용합니다. 반사 된 빔 (beam) 강도는 두 개의 다른 각도로 측정되며, 그 결과 데이터는 광학적 특성을 결정하기 위해 분석된다. 이 유형의 분석을 사용하여 재료의 굴절률 (thickness and index of refraction) 을 평가할 수 있습니다. RUDOLPH S 3000 S 모델은 반도체 장치 및 전자 부품의 특성을 결정하는 등 연구 용도로 설계되었습니다. 광도의 미묘한 변화를 감지하는 매우 민감한 간섭계 (interferometer) 와 고해상도 카메라 (camera) 가 특징입니다. 또한 자동 샘플 스테이지와 크고 읽기 쉬운 터치 스크린 디스플레이를 제공합니다. 이 시스템은 실험 (예: 샘플 온도, 편광, 속도) 과 관련된 다양한 매개변수를 제어할 수 있습니다. S3000S는 고급 소프트웨어를 사용하여 4 개의 Poincaré 매개 변수 (흡수, 지연, 타원성 및 방위각) 를 사용하여 데이터를 패라메트릭적으로 분석합니다. 이를 통해 샘플 재료 및 표면의 두께 및 굴절 지수의 정확한 측정이 가능하며, 박막 두께는 0.5nm, 굴절률은 0.001 (0.001) 까지 정확도입니다. 또한, 시스템은 응력으로 인한 복굴절 및 층 결정질 특성을 감지하는 데 사용될 수있다. S 3000 S는 금속, 폴리머, 유전체, 반도체, 박막 및 코팅을 포함한 다양한 샘플 재료 및 표면과 호환됩니다. 이를 통해 전자· 광학 분야의 연구개발에 이상적인 도구로 자리잡았다. 대학, 리서치 센터, 고출력 레티클 (reticle) 생산 시설을 포함한 다른 전문 환경뿐만 아니라 실험실에서도 사용하도록 설계되었습니다. 전반적으로 RUDOLPH S3000S Ellipsometer는 박막 재료 및 표면 분석을위한 강력한 도구입니다. 탁월한 정확성과 신뢰성을 제공하며, 자율적으로 작동하여 생산성 및 편리성을 극대화할 수 있습니다. 고급 소프트웨어와 직관적인 제어판을 갖춘 루돌프 S 3000 S (RUDOLPH S 3000 S) 는 전자 및 광학 분야의 연구 및 품질 보장에 이상적인 도구입니다.
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