판매용 중고 RUDOLPH S3000A #9389594

RUDOLPH S3000A Ellipsometer는 반도체 웨이퍼의 박막 스택을 검사하기 위해 설계된 범용 다중 파장 광학 측정 장비입니다. 이 시스템은 전체 필드와 현지화된 광학 매개변수를 모두 측정하기 위해 개발되었습니다. 정확성과 반복성이 높은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 측정값을 제공합니다. RUDOLPH S 3000 A에는 샘플의 복잡한 광학 반응을 측정하기위한 광원, 광학 수집 광학 및 4 사분면 광 다이오드 검출기가 포함되어 있습니다. 이 기술을 Ellipsometry라고합니다. 이 장치는 파장 범위가 350-215nm 인 샘플의 편광 독립적, 전송 및 반사 스펙트럼의 FWHM (Full Width Half Maximum) 을 측정 할 수 있습니다. S3000A (spinning-polarizer head) 는 광원을 조절하는 7000 개가 넘는 광학 구성 요소를 포함하는 방적 (spinning-polarizer) 헤드를 사용하여 사용자가 빛의 강도 및 편광의 변화를 측정 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 정확하고 반복 가능한 읽기를 보장하는 통합 교정 루틴 (calibration routine) 을 포함합니다. S 3000 A 는 강력한 분석 기능과 데이터 처리 기능을 결합한 포괄적인 소프트웨어 패키지 제품군을 제공합니다. RUDOLPH S3000A는 소프트웨어를 사용하여 박막을 빠르고 정확하게 분석 할 수 있습니다. 사용자는 내부 메모리 또는 외부 데이터 저장 장치에 데이터를 저장할 수 있습니다. 그런 다음 분석 보고서를 컴퓨터로 쉽게 옮겨 추가 검사를 할 수 있습니다. 루돌프 S 3000 A (RUDOLPH S 3000 A) 는 다양한 응용 분야에 적합하며 반도체 산업에서 귀중한 도구입니다. 산화물, 질화물, 금속과 같은 박막 스택의 특성화에 적합합니다. 이 도구를 사용하면 장치 매개변수를 최적화하는 데 유용한 상세한 분석 보고서를 생성할 수 있습니다. S3000A는 설치, 운영 및 유지 관리가 용이합니다. 유지 보수가 적은 운영 수명으로 신뢰할 수 있습니다. 매우 정확하고 반복 가능한 성능으로 인해 S 3000 A는 박막 스택의 특성화를위한 탁월한 선택입니다. 모든 기능에 대해 RUDOLPH S3000A는 타원법 측정을 수행하는 데 비용 효율적인 솔루션입니다.