판매용 중고 RUDOLPH S3000A #9270887

RUDOLPH S3000A
제조사
RUDOLPH
모델
S3000A
ID: 9270887
Thickness measurement system.
루돌프 S3000A (RUDOLPH S3000A) 는 다양한 기판에서 표면 박막 특성 및 표면 형태를 측정하도록 설계된 고급 타원계입니다. 장비의 고급 광학 장치 (Optic and Mechanics) 는 광범위한 어플리케이션에 대해 정확하고 자동화된 측정값을 제공합니다. RUDOLPH S 3000 A에는 편광 탐지를위한 4 채널 측정 헤드가 장착되어 있으며, 4 개의 각도에서 동시 측정이 가능하며 X, Y, Z 및 Theta 기능을 제공하는 자동 샘플 스테이지가 있습니다. 이 시스템은 두께 (thickness), 광학 상수 (optical constants), 경사 오류 (slope error), 전체 필름 두께 및 화학적 조성 (chemical composition) 과 같은 박막의 다양한 광학 및 물리적 매개변수를 감지 할 수 있습니다. S3000A는 듀얼 빔 단색 장치 (dual-beam monochromator) 와 편광 빔 스플리터 (polarizing beam splitter) 를 사용하여 광학 특성과 필름 두께에 대한 조사에서 높은 수준의 정확성을 보장합니다. 측정 헤드에 3 개의 동기화 된 모터를 사용하면 최대 4 개의 각도로 매우 정확하고 반복 가능한 패널링 시퀀스 (paneling sequence) 가 생성되며, 측정 정확도와 반복 가능성 측면에서 가장 정밀도가 높습니다. 이 장치는 반도체 웨이퍼, ITO 및 폴리머 필름, 기타 광학적으로 복잡한 재료를 포함한 다양한 기판을 쉽게 수용 할 수있는 가볍고 견고한 디자인으로 제작되었습니다. 또한 S 3000 A 는 여러 고급 소프트웨어 패키지와 호환되므로, 사용자는 시스템을 제어하고, 원격 위치에서 실시간 데이터를 분석할 수 있습니다. 직관적인 소프트웨어는 사용자가 측정 결과를 명확히 그래픽으로 표현할 수 있도록 하며, 필요한 경우 신속하게 해석 (Rapid Interpretation) 과 오류 분석 (Error Analysis) 을 수행할 수 있습니다. 옵션 (computer-aided design) 프로그램을 사용하여 타원계 데이터 세트를 분석하여 굴절 지수, 소멸 계수, 흡수 계수, 필름 두께의 절대 값을 정확하게 계산할 수 있습니다. 고급 광학 설계 및 역학을 갖춘 RUDOLPH S3000A는 다양한 응용 분야에 대해 매우 정확하고 반복 가능한 박막 특성 (Thin Film Properties) 및 표면 형태 (Surface morphology) 를 측정합니다. 실시간 분석 기능 및 견고성 강화 (rugged construction) 와 결합 된 고효율 도구의 디자인은 RUDOLPH S 3000 A를 모든 연구 실험실 또는 공장 층에 이상적인 선택으로 만듭니다.
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