판매용 중고 RUDOLPH FOCUS FE III #9188629

RUDOLPH FOCUS FE III는 RUDOLPH Technologies에서 제조 한 타원계입니다. 박막 두께 및 광학 상수 (예: 굴절률, 소멸 계수) 를 측정하는 데 사용되는 고정밀 장치입니다. 이 물질을 보다 정밀하게 측정하고 분석하기 위해 샘플과 타원 측정법 (ellipsometry) 에서 편광 반사 (polarized light reflection) 를 사용합니다. FOCUS FE III 타원계는 정밀도가 높은 측정을 위해 편광 광 반사 이론과 타원법 이론을 활용하는 도구입니다. 이 장치에는 광원, 조명 변조기, 샘플 스테이지, 편광 컨트롤러, 광학 및 전자 검출기가 포함됩니다. 편광 된 빛의 빔은 광원에 의해 생성되며 회전하는 반파 플레이트 (half-wave plate) 에 의해 변조됩니다. 그런 다음, 그 빛 을 "샘플 '에서 반사 하여 탐지기 에 의해 검출 되고 편광" 컨트롤러' 에 의해 분석 된다. 편광된 빛은 얇은 필름을 분석할 때 편광되지 않은 빛보다 더 많은 정보를 제공할 수 있기 때문에 사용됩니다. 샘플 스테이지는 샘플을 배치하고 마운트하는 데 사용됩니다. 여기에 적외선 빔 (적외선) 과 레이저 센서 (레이저 센서) 를 사용하여 샘플 위치를 감지하고 광학 경로를 조정합니다. 이를 통해 RUDOLPH FOCUS FE III는 입사 및 편광 변조 각도를 정확하게 측정 할 수 있습니다. 편광 컨트롤러 (polarization controller) 는 광선의 편광을 필터링, 조정 및 측정하는 광학 장치입니다. 반사 된 빛의 편광 상태를 측정하기 위해 1/4 파도와 분석기를 사용합니다. 광학 및 전자 검출기는 샘플이 편광 된 빛에 미치는 영향을 측정합니다. 이 정보는 기기의 광학 부분에서 필름 두께 (film thickness), 굴절률 (refractive index), 소멸 계수 (extinction coefficient) 와 같은 측정을 결정하는 데 사용됩니다. 전반적으로, FOCUS FE III는 박막 두께와 굴절률, 소멸 계수와 같은 광학 상수를 측정하는 데 사용되는 매우 정확하고 정확한 장치입니다. 광선 반사 (polarized light reflection) 와 타원체계 (ellipsometry) 의 조합으로 매우 정밀하게 박막을 빠르고 정확하게 측정 할 수 있습니다.