판매용 중고 RUDOLPH FOCUS FE III #9156769

RUDOLPH FOCUS FE III는 얇은 필름과 표면의 광학적 특성을 측정하도록 설계된 최첨단 반사 광학 타원계입니다. 디지털 포커스 (digital focus) 메커니즘을 통해 이전보다 정확도가 높은 매우 얇은 레이어를 조사할 수 있습니다. FOCUS FE III에는 4 가지 작동 모드가 있습니다: 고속 스캔을위한 MeasQuik; 일반적인 프로세스 제어 및 연구 측정을위한 정밀; 스팟 모드, 프로파일링 프로세스 단계; 제한된 범위에서 고속 스캔을 위해 제한된 Q/Theta. 이 장치는 10 나노 미터에서 10 미크론까지 광범위한 측정 범위를 가지고 있습니다. 파장 범위는 250nm ~ 3,000nm, 90 ° 는 0.5 °, 180 ° 는 0.7 °, 두 각은 0.02 ° 입니다. RUDOLPH FOCUS FE III에는 자동 속도 초점 시스템, 자동 입사각 설정 및 열전기 냉각 검출기 헤드가 있습니다. 이 장치에는 실시간 데이터 제어 및 해석에 사용되는 컬러 LCD 디스플레이가 포함되어 있습니다. 이 소프트웨어는 PC 호환 소프트웨어이며 사용자 친화적인 기능으로, 사용자가 신속하게 측정을 설정할 수 있게 해 주는 한편, 자동 보정 (auto-calibration) 기능을 통해 뛰어난 성능과 일관성 있는 반복성을 보장합니다. FOCUS FE III는 박막 특성, 재료 두께 및 광학 매개변수, 반도체 도량형, 패턴 웨이퍼 등을 포함한 다양한 응용 분야에 이상적입니다. 이 장치는 다양한 주변 조건에서 최적의 성능 (performance) 을 제공하도록 설계되어 모든 작동 조건에서 정확하고 안정적인 결과를 얻을 수 있습니다. 루돌프 포커스 FE III (RUDOLPH FOCUS FE III) 는 연구 원에서 정확성, 반복 가능성 및 속도로 높이 평가되는 정밀 도구입니다. 다양한 운영 모드, 고해상도, 자동 기능을 갖춘 FOCUS FE III 은 모든 애플리케이션에 적합한 솔루션입니다.