판매용 중고 RUDOLPH FE VII #9093249

RUDOLPH FE VII
제조사
RUDOLPH
모델
FE VII
ID: 9093249
웨이퍼 크기: 6"
Film Thickness Measurement Systems, 6".
RUDOLPH FE VII는 상단 타원계로, 정상 및 회전 입사 타원계의 결합 측정을 위해 특별히 설계되었습니다. 0.1 ° 단위로 0 ° 에서 89 ° 까지의 경사 각도를 갖는 4 각도 주사 장비를 갖추고 있으며, 정확하고 상세한 측정이 가능합니다. 이 시스템에는 이상적인 광학 조건을 보장하는 레이저 기반 정상 입사 (normal incident) 포커싱 장치 (focusing unit) 와 빠르고 반복 가능한 측정을위한 자동 샘플 장착 머신 (automated sample mounting machine) 도 포함되어 있습니다. 측정값은 최대 정확도를 위해 2 채널 모니터에 의해 모니터링됩니다. 모니터는 샘플의 타원방향 (ellipsometric) 속성의 변화를 실시간으로 측정하고, 측정 데이터를 기록하여 추가 분석을 수행합니다. 루돌프 페비 (RUDOLPH FEVII) 에는 회전 평면 편광기, 선형 편광 가변 회전기, 다층 샘플에서 개별 레이어를 빠르게 식별하고 연구하는 자동화 된 레이어 별 분석 도구 (automated layer-specific analysis tool) 등 측정의 정확성과 속도를 향상시키는 여러 기능이 있습니다. 또한 FE-VII 는 매우 직관적인 소프트웨어 자산과 모듈식 (modular) 설계를 통해 사용자 요구를 충족할 수 있습니다. 이 소프트웨어에는 여러 데이터 분석 기술, 시간 기반 측정 기록, 신속한 데이터 전송 기능 (데이터 분석/저장) 등의 기본 기능이 포함되어 있습니다. 또한 모듈식 (Modular) 설계를 통해 모든 측정 시나리오에 맞게 사용자 지정 (Custom Fit) 하는 설정이 가능하며, 플러그 앤 플레이 (Plug-and-Play) 다용도로 변경 및 업그레이드 작업을 수행할 수 있습니다. FE VII는 매우 정확하고 반복 가능한 정상 및 회전 입사 타원법 측정이 필요한 사람에게 이상적인 도구입니다. 다양한 맞춤형 소프트웨어/하드웨어 구성요소를 통해 모든 상황에 적응할 수 있습니다. 즉, 사용자 지정 (custom) 을 통해 정확한 요구 사항을 충족할 수 있습니다. 정확도, 속도, 사용 편의성 및 다재다능성의 조합으로 FEVII는 모든 타원계 측정에 대해 타원계 후 가장 많이 찾는 것 중 하나입니다.
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